别再让红外灯的热量加热真空室壁了
如果你曾经在真空中使用过高功率的红外灯，那么你一定知道这有多麻烦。因为没有空气来带走热量，这些能量只能滞留在真空室的壁上。
这不仅浪费电能，而且十分危险。内壁可能会过热，从而灼伤操作人员，或者损坏那些本应被保护的部件。这显然不是理想的实验室操作方式。
关键在于将热量引导到真正需要的地方。
与其让辐射向四周扩散，我们不如使用定向红外技术。这就好比用闪光灯而不是普通灯泡一样。我们通过内部反射器及特殊涂层，将所有热能直接传递到晶圆或基板上。
这样一来，目标物就能获得所需的热量，而设备本身则保持低温。
不过，不能随便选用任何灯具。普通的加热元件会带来灾难性后果。如果灯具释放出挥发性有机化合物，就会污染真空环境，毁掉整个半导体产品批次。
因此，我们必须使用高纯度的石英材料以及能够承受高温的密封材料。灯丝也必须具备在极端温度下仍不破坏真空密封的能力。
不过，这里有个问题。
当光线被集中到如此高的强度时，热量密度也会非常高。虽然这样可以让加热速度大大加快，但这也意味着必须非常精确地调整参数。如果灯具的位置稍有偏差，或者功率设置不当，就可能会导致基板被烧毁。这需要仔细调整焦距和功率，才能达到最佳效果。
好消息是，这类设备可以替代传统的红外灯阵列。只要确保电源能够承受更高的电压和电流即可——因为这类设备的功耗要远高于传统产品。