فیکٹری میں، فوٹو ریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران حرارتی تغیرات کوئی نظریاتی مسئلہ نہیں ہے؛ بلکہ یہ ایک حقیقی مسئلہ ہے جس کا اثر پروڈکشن کے عمل پر پڑتا ہے۔ جب گرم ہوا کا بہاؤ ویفروں کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے دائرے میں برقرار نہیں رکھ سکتا، تو اہم ابعاد میں تغیرات پیدا ہو جاتے ہیں، اور اس طرح ہر روز ایک ہی قسم کی خامیاں سامنے آتی رہتی ہیں۔ ہم نے ایسا سسٹم تیار کیا ہے جو اس قسم کے تغیرات کو روکنے میں مدد کرتا ہے؛ یعنی حرارت کی فراہمی کو منظم اور کنٹرول شدہ طریقے سے کیا جاتا ہے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں:
یہ ماڈیول نیئر-اینفراریڈ (NIR) حرارت کا استعمال کرکے ایک یکساں حرارتی فیلڈ پیدا کرتا ہے؛ تاکہ ہر بار ویفروں پر یکساں درجہ حرارت ہی رہے۔ عملی طور پر، اس کا مطلب یہ ہے کہ حرارت کی فراہمی مستحکم رہتی ہے، جس سے فوٹو ریزسٹ کی کارکردگی میں استحکام پیدا ہوتا ہے۔ یہ ڈیزائن کلاس 1–100 کے کلین رومز کے معیارات کے مطابق ہے؛ کیوں کہ اس میں ذرات کی پیداوار کو صفر کے قریب رکھا گیا ہے۔ ہیٹر کا ڈیزائن جدید لیتھوگرافی کے تقاضوں کے مطابق ہے۔
آپ کو پہلے ہی جاننے کی ضرورت ہے:
اس ماڈیول کی تنصیب کے لئے، ہوا کے بہاؤ کے نمونے اور AHU کی ساخت کو مناسب طریقے سے ہم آہنگ کرنا ضروری ہے۔ اگر یہ ہم آہنگی نہ ہو، تو درجہ حرارت میں تغیرات پیدا ہو جاتے ہیں۔ NIR حرارت کی فراہمی کو خاص کلین روم کے تقاضوں کے مطابق ایڈجسٹ کرنا ضروری ہے۔ جب یہ ماڈیول درست طریقے سے نصب ہو جاتا ہے، تو یہ مستحکم کارکردگی فراہم کرتا ہے۔