http://ir-heat-build.com/uk/tags/pecvd/ Recent content in PECVD on Custom Infrared Heating Builds Hugo uk Mon, 22 Jun 2026 23:10:09 +0800 http://ir-heat-build.com/uk/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ Mon, 22 Jun 2026 23:10:09 +0800 http://ir-heat-build.com/uk/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Нагрівач інфрачервоного випромінювача для процесу PECVD"></p> <p>На виробничій лінії профіль температури всередині камери <a href="https://henruite.com">PECVD</a> визначає якість утворюваної плівки. Як тільки емітер починає давати збої, це можна одразу помітити – страждає якість плівки, її однорідність за товщиною, а також кількість частинок у складі плівки. Ми розробили свій інфрачервоний емітер для нагріву в камерах PECVD, який відповідає вимогам сучасних технологій. Цей емітер є ефективною заміною для існуючого обладнання.</p> <p>Суть цього пристрою полягає у використанні короткохвильового інфрачервоного випромінювання, яке спрямовується безпосередньо на кварц та сусцептор. Час реакції становить менше секунди, тож параметри регулюються швидко після відкриття дверей камери чи зміни параметрів процесу. Рівень однорідності температури на рівні пластини становить ±0,1°C, що дозволяє зберігати правильні параметри процесу обробки фотополімерів та забезпечує контроль за їх якістю.</p>