http://ir-heat-build.com/uk/tags/%D1%96%D1%80/ Recent content in ІР on Custom Infrared Heating Builds Hugo uk Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/uk/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/uk/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Рівномірне нагрівання для ІЧ пластини діаметром 300 мм"></p> <p>На потужності 300 мм, софтбек і хардбек — це не просто теплові етапи, а вирішальні фактори виходу продукції. Якщо інфрачервоне нагрівання не рівномірне, ви отримаєте варіації ширини лінії, крайову смужку (edge bead) і залишки, які не видаляються при очищенні. Інспекцією це не вирішити. Виправляйте температурний профіль у самому джерелі.</p> <p><strong>Що має технічне значення</strong><br> Ми побудували інфрачервоний нагрівач для 300-мм пластин на основі короткохвильового інфрачервоного випромінювання з інженерними рефлекторами та системою зонального замкненого керування. Це забезпечує рівномірність на рівні пластини ±0,1°C. Таке вузьке відхилення захищає тепловий бюджет фоторезисту по всьому стеку плівок. Гаряча зона підтримується в режимі контролю часток для інтеграції в чисті кімнати класу 1–100, і ми підтвердили відсутність генерації часток у процесі інтегрованої метрології. Відтворюваність закладена на етапі проєктування — задані точки підтримують однаковий тепловий профіль при кожному запуску, лот за лотом.</p>