http://ir-heat-build.com/tr/tags/litografi/ Recent content in Litografi on Custom Infrared Heating Builds Hugo tr Wed, 01 Jul 2026 12:21:54 +0800 http://ir-heat-build.com/tr/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 12:21:54 +0800 http://ir-heat-build.com/tr/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ASML litografi lambası yedek parçası"></p> <p>Üretim alanında, litografide kullanılan lambanın çalışması durduğunda sadece bir alet durmakla kalmaz; aynı zamanda cihazın geometrisini belirleyen tüm işlemler de durur. Lamba düzgün çalışamaz hale geldiğinde, yumuşak ve sert pişirme işlemleri bozulur, fotorezistin kalınlığı değişir ve üretim sürecinde tekrarlanabilirlik kaybolur. ASML’ın litografi lambaları, termal dengeyi istenen seviyede tutacak şekilde tasarlanmıştır; böylece maruziyet, ön pişirme ve kurutma işlemleri belirlenen standartlarda gerçekleşir.</p> <p><strong>Önemli olanlar nelerdir?</strong><br> Fotorezistin emilim eğrisine uygun olan kısa dalga boyu ve orta dalga boyu NIR kaynakları kullanılır; bu sayede 300 nm’den 1100 nm’ye kadar stabil bir çıkış elde edilir. Pişirme işlemi sırasında wafer üzerindeki sıcaklık uniformitesi ±0,1°C civarındadır ve sıcaklık değerleri birkaç derece içinde sabit kalır. Kuvars kılıf ve özel olarak tasarlanmış filament yapısı sayesinde spektral çıkış 5.000 saatten fazla süre boyunca sabit kalır ve çıkışta %5’ten daha az düşüş olur. <a href="https://henruite.com">Temiz</a> oda sınıfları 1–100 arasında olan ortamlarda kullanım için düşük gaz salınımı yapan malzemeler ve partikül kontrolü sağlayan tasarım <a href="https://o-yate.com">tercih</a> edilir. Böylece waferin kirlenmesi engellenir.</p>