เตาอบ on Custom Infrared Heating Builds

เตาอบสำหรับห้องสะอาด พร้อมเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรด

Thu, 18 Jun 2026 04:05:37 +0800

ในกระบวนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระหว่างพื้นผิววงจรไม่ใช่เพียงแค่สิ่งที่ควรมีเท่านั้น แต่เป็นสิ่งสำคัญมาก เพราะความแตกต่างของอุณหภูมิเพียง 1 องศาเซลเซียสก็สามารถทำให้การควบคุมค่า CD เปลี่ยนไปได้ และยังก่อให้เกิดข้อบกพร่องในวัสดุโฟโตรีซิสต์ได้อีกด้วย เราจึงออกแบบเตาอบอินฟราเรดสำหรับห้องสะอาด เพื่อลดความแปรปรวนดังกล่าวตั้งแต่ต้นทาง

สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เครื่องเป่าความร้อนแบบอินฟราเรดคลื่นสั้นจะส่งความร้อนไปยังวงจรได้อย่างรวดเร็วและตรงไปตรงมา ทำให้อุณหภูมิสามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำภายในเวลาไม่กี่วินาที ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิววงจรจะอยู่ในช่วง ±0.1 องศาเซลเซียส และความสามารถในการทำซ้ำก็อยู่ในระดับที่ดีมาก ตัวเตาอบถูกออกแบบมาสำหรับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยมีการออกแบบให้มีจุดเชื่อมต่อที่ปิดสนิท และไม่มีส่วนที่เป็นสายไฟที่โผล่ออกมา เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดอนุภาคสกปรกบนพื้นผิววงจร ประสิทธิภาพของเตาอบจะคงที่ตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความเบี่ยงเบนของความร้อนน้อยกว่า 5%

การประมวลผลวัสดุโฟโตรีซิสต์จะไม่ยอมรับการควบคุมอุณหภูมิที่ไม่แม่นยำเลย เตาอบอินฟราเรดของเราสามารถปรับอุณหภูมิให้เหมาะสมกับกระบวนการผลิตได้ และยังสามารถทำให้อุณหภูมิลดลงอย่างรวดเร็ว ทำให้เวลาในการผลิตลดลง และประสิทธิภาพการผลิตเพิ่มขึ้น นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเตาอบจะทำหน้าที่ในการให้ความร้อนกับวงจรโดยตรง ไม่ใช่กับผนังห้อง ผลลัพธ์ที่ได้คือจำนวนวงจรที่ต้องแก้ไขลดลง ค่า CD มีความสม่ำเสมอมากขึ้น และประสิทธิภาพการผลิตก็สามารถคาดเดาได้ในแต่ละช่วงเวลา

สิ่งที่ควรพิจารณาเมื่อติดตั้งคือ การปรับให้รูปร่างของช่องเตาอบและการจ่ายพลังงานเหมาะสม พวกเรามีแบบรูปและเส้นโค้งการปรับสเถียรภาพมาให้ เพื่อให้การติดตั้งง่ายขึ้น ต้องแน่ใจว่ามีการติดตั้งระบบไฟฟ้าที่เหมาะสมสำหรับห้องสะอาด และต้องมีระยะห่างที่เหมาะสมสำหรับหุ่นยนต์ที่ใช้ในการจัดการวงจรด้วย เตาอบนี้สามารถใช้ร่วมกับระบบ SECS/GEM ได้ แต่ถ้าคุณต้องการการควบคุมอุณหภูมิตามสูตรที่กำหนดไว้ คุณจะต้องมีเครื่องควบคุมแยกต่างหาก

องค์ประกอบความร้อนเตาอบสุญญากาศ

Wed, 03 Jun 2026 12:15:22 +0800

บนพื้นโรงงาน การอบ photoresist ไม่ใช่แค่การอุ่นเครื่อง แต่เป็นขอบเขตขั้นตอนที่สำคัญ
ถ้าอุณหภูมิผิดพลาดเพียงไม่กี่องศาใน soft bake หรือ hard bake การควบคุมมิติที่สำคัญจะพังทลาย เส้นทางการผลิตเริ่มปฏิเสธเวเฟอร์ก่อนที่กระบวนการกัดกร่อนจะเริ่มทำงาน นั่นเป็นเหตุผลที่องค์ประกอบความร้อนในเตาอบสุญญากาศต้องรักษาความสม่ำเสมอของความร้อนในห้องอบ ทั่วทั้งชุด และต่อเนื่องเป็นสัปดาห์

สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
เราผลิตองค์ประกอบความร้อนเหล่านี้เพื่อให้ได้มาตรฐานความเข้มงวดด้านความร้อนสำหรับงานโรงงาน รักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในโซนร้อนที่ ±0.1°C เพื่อให้เวเฟอร์แต่ละแผ่นได้รับงบประมาณความร้อนที่เหมือนกันในแต่ละรอบการผลิต
คุณจะได้การควบคุมการเพิ่มอุณหภูมิที่รวดเร็วและเสถียรสำหรับโปรไฟล์ soft bake และ hard bake พร้อมกับความสามารถในการทำซ้ำที่ทำให้ความแปรปรวนภายในล็อตอยู่ในเกณฑ์จำกัด องค์ประกอบเหล่านี้เหมาะสำหรับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยมีการระเหยน้อยและไม่ก่อให้เกิดอนุภาคภายใต้สภาวะการทำงาน
ความน่าเชื่อถือขึ้นอยู่กับเวลาที่เครื่องพร้อมใช้งาน เราออกแบบให้ทำงานได้ 24/7 โดยมีช่วงเวลาบำรุงรักษาที่คาดการณ์ได้ ไม่ใช่การหยุดทำงานอย่างกะทันหัน

เหตุผลที่เรื่องนี้สำคัญในกระบวนการลิโทกราฟี
ในกระบวนการลิโทกราฟี การอบเป็นจุดที่รูปแบบของเรซิสต์ถูกล็อกเข้าที่ ความสม่ำเสมอที่เข้มงวดช่วยลดความหยาบของขอบเส้น photoresist และเพิ่มความยืดหยุ่นในการให้โดส ซึ่งส่งผลโดยตรงต่ออัตราการผ่านในครั้งแรกที่สูงขึ้น
ความสามารถในการทำซ้ำที่เข้มงวดยังช่วยลดเวลาการทดสอบคุณสมบัติและลดงานแก้ไข ระบบความร้อนที่มีประสิทธิภาพช่วยลดการใช้พลังงานในช่วงการคงสภาพ ทำให้ลดต้นทุนการดำเนินงานโดยไม่ทำให้เวลาวงจรช้าลง

ข้อควรจำ
องค์ประกอบเหล่านี้เหมาะกับแพลตฟอร์มเตาอบสุญญากาศมาตรฐาน แต่รูปร่างห้องอบ น้ำหนักโหลด และโปรไฟล์การอบ จะเป็นตัวกำหนดความสม่ำเสมอขั้นสุดท้าย
การติดตั้งต้องสอดคล้องกับมวลความร้อนของเตาอบและพฤติกรรมการปั๊มสุญญากาศ เปิดใช้งานร่วมกับอุปกรณ์จับชิ้นงานและสูตรกระบวนการเฉพาะของคุณ เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอที่ ±0.1°C นั้น