เครื่องแบบ on Custom Infrared Heating Builds

เครื่องอบวัตถุดิบแบบทำความร้อนอย่างสม่ำเสมอ

Thu, 02 Jul 2026 08:19:20 +0800

ในโรงงานผลิตชิป ความแตกต่างของอุณหภูมิเพียง 0.1°C ระหว่างกระบวนการอบชิป ก็สามารถทำให้คุณภาพของชิปลดลงได้ รวมถึงก่อให้เกิดสิ่งสกปรกบนพื้นผิวชิป และส่งผลให้อัตราการผลิตลดลงด้วย เครื่องอบชิปแบบดั้งเดิมมักมีปัญหาเรื่องความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างชิปต่างๆ และปัญหาเรื่องอนุภาคที่เกิดขึ้นหลังจากมีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว เราจึงสร้างเครื่องอบชิปนี้ขึ้นมาเพื่อขจัดปัญหาเหล่านี้ออกไป

สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
เราสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับชิปไว้ที่ ±0.1°C ได้ โดยใช้เครื่องกำเนิดแสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นภายในห้องที่มีวัสดุควอตซ์เป็นตัวกั้น ซึ่งช่วยให้ความร้อนถูกส่งผ่านไปได้โดยไม่มีอนุภาคเกิดขึ้น เครื่องนี้สามารถทำงานได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 และเรายังสามารถตรวจสอบได้ว่าไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นเลย ค่าอุณหภูมิที่ใช้ในการอบชิปก็มีความสม่ำเสมออยู่ที่ ±0.2°C ดังนั้นคุณภาพของชิปจึงไม่มีการเปลี่ยนแปลง โครงสร้างของเครื่องอบชิปช่วยให้อุณหภูมิของชิปไม่ได้รับผลกระทบจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของสภาพแวดล้อม ดังนั้นแต่ละชุดชิปจึงมีอุณหภูมิที่สม่ำเสมอเสมอ

เหตุใดเครื่องนี้จึงเหมาะสำหรับกระบวนการผลิตชิป
ในกระบวนการผลิตชิป ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิมีผลต่อความหนาของเส้นขอบชิป ความสามารถในการยึดเกาะของสารเคมีกับพื้นผิวชิป และปริมาณสารละลายที่เหลืออยู่บนพื้นผิวชิป ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดีจะช่วยลดการทำงานซ้ำและการปรับแต่งกระบวนการผลิต นอกจากนี้ การที่เครื่องนี้สามารถทำงานได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดสูง และไม่มีอนุภาคเกิดขึ้น ก็ช่วยลดจำนวนข้อบกพร่องของชิปได้ อีกทั้งยังช่วยให้เครื่องสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่อง โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด ดังนั้นกระบวนการผลิตชิปจึงสามารถดำเนินต่อไปได้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องกำเนิดแสงสามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว และสามารถทำงานในโหมดพักได้โดยไม่มีการสูญเสียพลังงาน ดังนั้นกระบวนการผลิตชิปจึงมีความเสถียร และมีเวลาการผลิตที่แน่นอน

สิ่งที่จำเป็นในการติดตั้ง
เครื่องนี้ต้องการแหล่งจ่ายไฟที่มีคุณภาพสูง พร้อมระบบกรองไฟ และระบบเติมไนโตรเจน เพื่อรักษาคุณภาพของเครื่องให้คงที่ในอุณหภูมิสูง การติดตั้งเครื่องนี้สามารถทำได้ง่ายบนรางมาตรฐาน แต่จำเป็นต้องปรับแต่งค่าความร้อนและทิศทางการเชื่อมต่อให้เหมาะสมกับอุปกรณ์ที่มีอยู่ เพื่อไม่ให้เกิดการรบกวนทางกล ควรมีการทดสอบเครื่องก่อนการใช้งานจริง เพื่อให้มั่นใจว่ากระบวนการอบชิปมีความสม่ำเสมอ และเมื่อตั้งค่าเสร็จแล้ว ค่าอุณหภูมิก็จะคงที่ตลอดการผลิตชิป

ความร้อนสม่ำเสมอสำหรับแผ่นเวเฟอร์ขนาด 300 มม. IR

Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800

บนสายการผลิต 300mm การอบแบบ soft bake และ hard bake ไม่ใช่แค่ขั้นตอนความร้อนธรรมดาแต่เป็นจุดควบคุมคุณภาพผลผลิต หากความร้อน IR ไม่สม่ำเสมอ จะเกิดความแตกต่างของความกว้างเส้น (linewidth variation) ขอบบีด (edge bead) และสิ่งสกปรกที่หลงเหลือหลังการทำความสะอาด วิธีแก้ไขไม่ใช่แค่ตรวจสอบ แต่ต้องปรับโปรไฟล์อุณหภูมิจากแหล่งกำเนิด

ประเด็นทางเทคนิคที่สำคัญ
เราออกแบบเครื่องทำความร้อน IR สำหรับแผ่นเวเฟอร์ 300mm โดยใช้รังสีอินฟราเรดคลื่นสั้น พร้อมรีเฟลกเตอร์ที่ออกแบบเฉพาะและการควบคุมโซนแบบลูปปิด เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ช่วงความร้อนที่คุมไว้นี้ช่วยรักษางบประมาณความร้อนของโฟโต้เรซิสต์ตลอดทั้งชั้นฟิล์ม โซนความร้อนยังควบคุมฝุ่นละอองในระดับคลาส 1–100 สำหรับการติดตั้งในคลีนรูม และเรามีการตรวจสอบแล้วว่าไม่มีการเกิดฝุ่นละอองระหว่างกระบวนการด้วยมาตรวิทยาแบบในสายการผลิต ความสามารถทำซ้ำ (repeatability) ถูกออกแบบมาในระบบ โดยจุดตั้งค่าจะคืนค่าโปรไฟล์ความร้อนเดิมได้ในแต่ละรอบงานและล็อตผลิต

เหตุผลที่ระบบนี้เหมาะสำหรับการผลิต
ในงานอบปรู๊ฟลิโทกราฟี เวลาใช้งานเครื่องมีค่ามาก ระบบนี้ถูกสร้างมาเพื่อทำงานต่อเนื่อง 7×24 ชั่วโมงโดยไม่มีเวลาหยุดงานไม่คาดคิด โดยใช้ชิ้นส่วนความร้อนที่ผ่านการจัดอันดับให้รองรับวงจรการทำงานระยะยาวและสถาปัตยกรรมความร้อนที่คงเสถียรภาพแม้โหลดสูงในการผลิตจำนวนมาก ผลลัพธ์คือสามารถควบคุม CD ได้อย่างแม่นยำ ลดล็อตที่ต้องแก้ไขและขยายช่วงโปรเซสที่ไม่เกิดการเปลี่ยนแปลง ส่งผลให้เวลาสำหรับทิ้งของเสียและการทดสอบซ้ำลดลง การใช้พลังงานถูกปรับให้เหมาะสมด้วยการควบคุมการเร่งอุณหภูมิเร็วและลดการสูญเสียขณะเครื่องว่าง ช่วยลดต้นทุนการดำเนินงานโดยไม่กระทบต่อความสม่ำเสมอ

สิ่งที่ต้องวางแผนล่วงหน้า
ระบบนี้ต้องการแผนพลังงานและน้ำหล่อเย็นเฉพาะที่สอดคล้องกับภาระความร้อนและการระบายอากาศในคลีนรูม การติดตั้งสามารถทำได้ง่ายในสายการผลิตมาตรฐาน แต่ต้องเผื่อพื้นที่เครื่องจักรและข้อจำกัดของส่วนต่อประสานไว้ให้ดี จัดวางตำแหน่งเครื่องมือและช่องทางเข้าถึงสำหรับบำรุงรักษาให้เรียบร้อยก่อนสรุปแผนผังโรงงาน และควรกำหนดตารางการทดสอบสอบเทียบเป็นระยะเพื่อให้ ±0.1°C ยังคงติดตามตรวจสอบได้กับแผ่นเวเฟอร์ต่างชนิดและสูตรการอบแต่ละแบบ