http://ir-heat-build.com/ru/tags/tool/ Recent content in Tool on Custom Infrared Heating Builds Hugo ru Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800 http://ir-heat-build.com/ru/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800 http://ir-heat-build.com/ru/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Датчик температуры для инструмента для обработки пластин"></p> <p><strong>Перестаньте угадывать температуру пластин</strong><br> Если вы пытаетесь создать „умную фабрику“, вы, наверное, уже поняли, что реагировать на проблемы после их возникновения — это настоящий кошмар. Необходимо видеть то, что происходит в данный момент.</p> <p>Но здесь есть проблема: нельзя просто прикрепить термопару к поверхности пластины. Это может привести к загрязнению всей партии изделий или деформации самой пластины. Это неприемлемо.</p> <p>Поэтому мы используем высокоэффективные инфракрасные системы. Вместо того чтобы касаться пластины, эти датчики просто „наблюдают“ за тепловым излучением и преобразуют его в цифровые данные. Таким образом можно получить полную карту температур на всей поверхности пластины за несколько миллисекунд. Это очень быстро.</p> http://ir-heat-build.com/ru/posts/infrared-lamp-for-applied-materials-tool/ Mon, 22 Jun 2026 23:18:52 +0800 http://ir-heat-build.com/ru/posts/infrared-lamp-for-applied-materials-tool/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Инфракрасная лампа для оборудования Applied Materials"></p> <p>На поверхности пластины температура во время процесса выпечки составляет 90°C. Эта температура не является просто числом — это параметр, который определяет степень контроля над шириной линий на пластине. Если сместить температуру на полоградусный интервал, то на готовой продукции появятся дефекты, которые проявятся только после процедуры обработки. Мы разработали инфракрасную лампу для оборудования компании Applied <a href="https://goldisgood.com">Materials</a>, чтобы свести к минимуму такие отклонения.</p> <p><strong>Что имеет значение с технической точки зрения?</strong> Речь идет о коротковолновом инфракрасном излучении, настроенном таким образом, чтобы соответствовать спектру поглощения фоторезиста. Настоящим параметром является тепловая однородность: отклонение температуры на поверхности пластины не должно превышать ±0,1°C во время процесса выпечки. Этот показатель измеряется с помощью калиброванных термопар в условиях потока процессной газовой среды. Кварцевый корпус и керамические элементы предназначены для использования в чистых помещениях класса 1–100; при стабильной работе они не создают никаких частиц. Повторяемость результатов остается в пределах 1% на протяжении более 5 000 часов работы, что позволяет сохранять стабильность ширины линий на пластине при каждой партии продукции.</p>