http://ir-heat-build.com/ru/tags/300-%D0%BC%D0%BC/ Recent content in 300 Мм on Custom Infrared Heating Builds Hugo ru Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/ru/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/ru/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Равномерный нагрев для 300 мм вафли ИК"></p> <p>На линии 300 мм мягкий и твёрдый обжиг — это не просто термические этапы, а критические контрольные точки выхода. Если ИК-нагрев неравномерный, появятся вариации ширины линий, бахрома по краям и остатки, которые не удаляются при очистке. Исправить это нельзя за счёт инспекции — необходимо корректировать температурный профиль у источника.</p> <p><strong>Что важно с технической точки зрения</strong><br> Мы построили ИК-нагреватель для 300-миллиметровых пластин на базе коротковолнового инфракрасного излучения с разработанными рефлекторами и системой замкнутого контура зонального контроля. Это обеспечивает равномерность по поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Такая точность сохраняет тепловой бюджет фотораствора на всем слое пленки. Горячая зона контролируется по частицы для интеграции в чистые помещения классов 1–100, и мы подтвердили отсутствие генерации частиц при использовании встроенной метрологии. Повторяемость заложена в конструкцию — заданные значения возвращают одинаковый тепловой профиль из цикла в цикл, из партии в партию.</p>