http://ir-heat-build.com/ru/tags/%D0%BF%D1%8D%D0%BA%D0%B2%D0%B4/ Recent content in ПЭКВД on Custom Infrared Heating Builds Hugo ru Mon, 22 Jun 2026 23:10:09 +0800 http://ir-heat-build.com/ru/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ Mon, 22 Jun 2026 23:10:09 +0800 http://ir-heat-build.com/ru/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Инфракрасный излучатель для нагрева в процессе PECVD"></p> <p>На производственной площадке профиль температуры в камере <a href="https://goldisgood.com">PECVD</a> определяет качество получаемой пленки. Если эмиттер начинает давать сбои, это сразу становится заметно – нарушается равномерность толщины пленки, возникают проблемы с ее структурой, а также увеличивается количество частиц в пленке. Мы разработали инфракрасный эмиттер для обогрева в камерах PECVD, который соответствует требованиям современных технологий. Он может заменить импортное оборудование без необходимости изменения всей системы.</p> <p>Суть решения заключается в использовании коротковолнового инфракрасного излучения, направляемого непосредственно на кварц и подставку для поддержания пластинок. Реакция происходит за доля секунды, поэтому параметры быстро возвращаются в норму после открытия дверцы камеры или изменения параметров процесса. Равномерность температуры на уровне пластинок составляет ±0,1°C, что позволяет сохранять стабильные параметры процесса обработки фоторезиста и обеспечивает точный контроль его параметров.</p>