http://ir-heat-build.com/ru/tags/%D0%BF%D1%80%D0%B8%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D0%B5%D0%BD%D0%BE/ Recent content in Применено on Custom Infrared Heating Builds Hugo ru Mon, 22 Jun 2026 23:18:52 +0800 http://ir-heat-build.com/ru/posts/infrared-lamp-for-applied-materials-tool/ Mon, 22 Jun 2026 23:18:52 +0800 http://ir-heat-build.com/ru/posts/infrared-lamp-for-applied-materials-tool/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Инфракрасная лампа для оборудования Applied Materials"></p> <p>На поверхности пластины температура во время процесса выпечки составляет 90°C. Эта температура не является просто числом — это параметр, который определяет степень контроля над шириной линий на пластине. Если сместить температуру на полоградусный интервал, то на готовой продукции появятся дефекты, которые проявятся только после процедуры обработки. Мы разработали инфракрасную лампу для оборудования компании Applied <a href="https://goldisgood.com">Materials</a>, чтобы свести к минимуму такие отклонения.</p> <p><strong>Что имеет значение с технической точки зрения?</strong> Речь идет о коротковолновом инфракрасном излучении, настроенном таким образом, чтобы соответствовать спектру поглощения фоторезиста. Настоящим параметром является тепловая однородность: отклонение температуры на поверхности пластины не должно превышать ±0,1°C во время процесса выпечки. Этот показатель измеряется с помощью калиброванных термопар в условиях потока процессной газовой среды. Кварцевый корпус и керамические элементы предназначены для использования в чистых помещениях класса 1–100; при стабильной работе они не создают никаких частиц. Повторяемость результатов остается в пределах 1% на протяжении более 5 000 часов работы, что позволяет сохранять стабильность ширины линий на пластине при каждой партии продукции.</p>