Печь для чистых помещений с инфракрасным нагревателем

Thu, 18 Jun 2026 04:05:37 +0800

На этапе литографии единообразие температуры в процессе нагрева не является просто желательным качеством – это фактор, влияющий на качество продукции. Даже небольшое изменение температуры на 1°C может нарушить контроль за параметрами пленки и привести к появлению дефектов. Мы разработали специальные нагреватели для чистых комнат, чтобы устранить такую нестабильность на начальном этапе обработки.

Что имеет значение с технической точки зрения? Элементы коротковолнового инфракрасного излучения обеспечивают быстрое и эффективное нагревание пластины, благодаря чему температура быстро достигает заданного уровня. Единообразие температуры на поверхности пластины остается в пределах ±0,1°C, а стабильность процесса поддерживается в рамках строгих тепловых параметров. Корпус нагревателя рассчитан для использования в чистых комнатах класса 1–100; имеются герметичные соединения, а также отсутствуют видимые нити нагревателя, что предотвращает образование частиц. Работоспособность нагревателя сохраняется в течение более 5,000 часов при отклонении интенсивности нагрева менее 5%.

Изготовление нагревательного элемента вакуумной печи

Wed, 03 Jun 2026 12:15:22 +0800

На производственном участке, выпекание фоторезиста — это не разогрев. Это жёсткая технологическая граница.

Если температура смещена всего на несколько градусов при мягком или твёрдом выпекании, контроль критических размеров нарушается. Линия начинает отбраковывать пластины ещё до этапа травления. Поэтому нагревательные элементы вакуумных печей должны обеспечивать термическое равномерство по всей камере, по всему пакету и из недели в неделю.

Что технически важно
Мы создаём эти нагревательные элементы для поддержания термической дисциплины на уровне фабрики. Поддержка температурной однородности в горячей зоне с точностью ±0,1°C, чтобы каждая пластина получала одинаковый тепловой бюджет при каждом запуске.
Вы получаете быстрый и стабильный контроль скорости нагрева для профилей мягкого и твёрдого выпекания, а также повторяемость, которая минимизирует разброс внутри партии. Они подходят для чистых помещений классов 1–100, с низким уровнем десорбции и отсутствием генерации частиц в рабочих условиях.
Надёжность сводится к времени безотказной работы. Мы проектируем оборудование для круглосуточной эксплуатации с предсказуемыми интервалами технического обслуживания, без неожиданных остановок.

Духовка on Custom Infrared Heating Builds

Печь для чистых помещений с инфракрасным нагревателем

Изготовление нагревательного элемента вакуумной печи

На производственном участке, выпекание фоторезиста — это не разогрев. Это жёсткая технологическая граница.