Прекратите нагрев стенок вакуумной камеры
Если вы когда-либо использовали инфракрасные лампы высокой мощности в вакууме, вы знаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Поскольку в вакууме нет воздуха, который мог бы рассеивать тепло, оно просто накапливается на стенках камеры.
Это не только пустая трата электроэнергии, но и опасно. В результате внутренние стенки камеры могут нагреться до такой степени, что это может повредить оператора или саму деталь, которую вы пытаетесь защитить. Это явно не лучший способ работы в лаборатории.
Секрет заключается в том, чтобы направить тепло туда, где оно действительно нужно.
Вместо того чтобы позволять излучению распространяться во все стороны, мы используем технологию направленного излучения. Можно считать это своего рода фонариком вместо обычной лампы. Мы используем внутренние отражатели и специальные покрытия, чтобы направить всю тепловую энергию прямо на пластину или подложку.
Результат? Целевая поверхность получает необходимое количество тепла, а корпус оборудования остается прохладным на ощупь.
Но нельзя просто использовать любую лампу. Стандартные нагревательные элементы приведут к катастрофе. Если лампа выделяет летучие органические соединения, это повредит вакуум и уничтожит всю партию полупроводников.
Поэтому мы используем кварц высокой чистоты и специальные смолы, которые способны выдерживать высокие температуры без нарушения вакуумного узла.
Но есть один недостаток.
Когда луч сфокусирован так тесно, возникает высокая плотность тепла. Это значительно сокращает время разогрева – что замечательно. Но это также означает, что необходимо быть очень точным. Если лампа находится не на правильном расстоянии или ее мощность слишком велика, это может повредить подложку. Нужно тщательно настраивать фокусное расстояние и мощность.
Хорошая новость в том, что такие устройства предназначены для замены стандартных инфракрасных ламп. Просто убедитесь, что ваш источник питания способен выдерживать необходимое напряжение и ток – ведь эти устройства потребляют гораздо больше энергии, чем стандартные лампы.