http://ir-heat-build.com/pt/tags/calor/ Recent content in Calor on Custom Infrared Heating Builds Hugo pt Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/pt/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/pt/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Calor uniforme para wafer IR de 300 mm"></p> <p>Em uma linha de 300mm, soft bake e hard bake não são apenas etapas térmicas—são barreiras de rendimento. Se o seu aquecimento IR não for uniforme, você verá variação na largura das linhas, edge bead e resíduos que sobrevivem à limpeza. Você não pode inspecionar para resolver isso. Corrija o perfil de temperatura na fonte.</p> <p><strong>O que importa tecnicamente</strong><br> Construímos o aquecedor IR para wafers de 300mm em torno do infravermelho de onda curta, com refletores projetados e controle em malha fechada por zonas. Isso proporciona uniformidade a nível de wafer dentro de ±0,1°C. Essa faixa restrita protege o orçamento térmico do fotorresiste em toda a pilha de filmes. A zona quente permanece controlada quanto a partículas para integração em salas <a href="https://goldisgood.com">limpas</a> Classe 1–100, e verificamos geração zero de partículas contra metrologia inline. A repetibilidade está incorporada no projeto—os pontos de ajuste retornam ao mesmo perfil térmico execução após execução, lote após lote.</p>