http://ir-heat-build.com/pl/tags/ciep%C5%82o/ Recent content in Ciepło on Custom Infrared Heating Builds Hugo pl Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/pl/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/pl/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Jednolite ogrzewanie IR dla wafla 300 mm"></p> <p>Na linii 300mm, soft bake i hard bake to nie tylko etapy termiczne — to bramki jakościowe dla wydajności. Jeśli ciepło IR nie jest równomierne, pojawi się zmienność szerokości linii, zanikanie krawędzi (edge bead) oraz pozostałości (scum), które przetrwają proces czyszczenia. Nie da się tego skorygować <a href="https://goldisgood.com">przez</a> inspekcję. Należy skorygować profil temperaturowy u źródła.</p> <p><strong>Co ma znaczenie techniczne</strong><br> Ogrzewacz IR do wafli 300mm został zaprojektowany wokół podczerwieni krótkofalowej, z zastosowaniem specjalnie skonstruowanych reflektorów i sterowania strefowego w pętli zamkniętej. Zapewnia to jednorodność temperaturową na poziomie wafla w granicach ±0,1°C. Taka ścisła kontrola chroni budżet termiczny fotoresistu przez cały stos warstw. Strefa gorąca pozostaje kontrolowana pod kątem cząstek, co pozwala na integrację w klasie czystości od Class 1 do 100, a badania inline metrologiczne potwierdziły zerową generację cząstek. Powtarzalność jest uwzględniona w konstrukcji — nastawy dają ten sam profil termiczny przy każdej serii i partii.</p>