Eenzijdig verwarmende waferdroger
Op de productielijn is een verschil van 0,1°C tijdens het zachte of harde drogen voldoende om problemen te veroorzaken, zoals oneffenheden op het...
Fotovoltaïsche silicium waferverwarmer
Op de productievloer Een lithografielijn die 24/7 draait geeft geen speling op thermische drift. Zet de soft bake 2°C naast de target en het...