Wafel on Custom Infrared Heating Builds

MEMS sensorwaferdroogheater

Sat, 25 Jul 2026 04:41:51 +0800

Het verminderen van het koolstofgehalte bij het drogen van MEMS-onderdelen met infraroodstraling
Bij het maken van MEMS-sensoren is het belangrijk om het vocht van de schijven te halen. Je wilt natuurlijk dat het water verdwijnt, maar je kunt het niet zomaar wegverhitten met hitte – anders zal het gehele onderdeel vervormen.

Daarom gebruiken we lampen die infraroodstraling afgeven. In plaats van de lucht, de muren en alles anders in de ruimte op te warmen, bereikt de infraroodstraling rechtstreeks de watermoleculen. Het is een directe aanpak.

Energiezuinige waferverwarmer

Sat, 25 Jul 2026 04:34:37 +0800

Zorgen dat je waferverwarmers niet ontploffen

Wij besteden veel tijd aan het controleren van de thermische toleranties wanneer we waferverwarmers bouwen. Maar eerlijk gezegd? Al die precisie betekent niks als de elektrische isolatie faalt.

Eén klein lekje in een verhittingselement kan ervoor zorgen dat je controller beschadigd raakt of dat er een hele lading silicium in één klap verwoest wordt. Het is een nachtmerriescenario. Daarom voeren we geen ‘willekeurige controles’ uit. We laten elk apparaat eerst een high-voltage-test en een isolatieweerstandstest ondergaan, voordat het überhaupt onze fabriek mag verlaten.

Veiligheidsafstand voor waferverwarming

Fri, 24 Jul 2026 11:45:58 +0800

Let op de afstand: hoe een paar millimeter je koolstofvoetafdruk kan verminderen
Als we eerlijk willen zijn over het bereiken van koolstofneutrale productie in semiconductiefabrieken, moeten we het hebben over de energie die we verspillen bij het verwarmen van de wafers. De meeste fabrieken maken nog steeds gebruik van ouderwetse systemen, die eigenlijk functioneren als ruimteverwarmers voor de rest van de ruimte.

Het gebruik van kortegolflampen helpt erg. Maar er is één belangrijk punt: de echte besparing komt neer op één ding: de afstand tussen de gloeidraad van de lamp en de wafer.

Reflector voor wafer curinglamp

Tue, 21 Jul 2026 09:23:35 +0800

Stop met het verspillen van energie bij het drogen van uw wafers
Bij het drogen van wafers is elke verspilde watt eigenlijk niets anders dan geldverspilling – bovendien neemt dit onnodig risico’s op besmetting met zich mee.

Kijk eens naar de lamp die wordt gebruikt voor het drogen van de wafers. De lamp geeft energie af in alle richtingen, 360 graden rondom. Maar de wafer bevindt zich alleen aan één kant van de lamp. Dat betekent dat de helft van de energie wordt gebruikt om de lucht achter de lamp op te warmen. Dat is pure verspilling.

Temperatursensor voor wafergereedschap

Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800

Stop met gissen naar de temperatuur van de wafers

Als je probeert een “Smart Fab” op te zetten, heb je vast al gemerkt dat reageren op problemen nadat ze zich hebben voorgedaan een nachtmerrie is. Je moet weten wat er op dit moment gebeurt.

Maar hier ligt het probleem met de apparaten die worden gebruikt voor het meten van de temperatuur van wafers: je kunt geen thermocouple gewoon op het substraat plaatsen. Dat zou de hele lading vervuilen of de wafer fysiek beschadigen. Het is dus niet haalbaar.

Precisiezweeflinterceptiesensor voor wafer

Wed, 15 Jul 2026 09:50:14 +0800

Zorgen voor veiligheid bij het verhitten van brandbare chemikalien
Laten we eerlijk zijn: het verhitten van plakjes in chemische baden is een spannende taak. Wanneer je werkt met vluchtige, brandbare oplosmiddelen, zijn de risico’s groot. Eén kleine vonk of een lamp die op het verkeerde moment uitgaat, kan tot een explosie leiden. Het is een nachtmerriescenario.

Daarom bouwen we de lampen niet zomaar – we hullen ze in een beschermend omhulsel. We isoleren de elektrische onderdelen van alles anders, zodat de omgeving rondom de lamp geen gevaar vormt.

Uniforme warmte voor 300 mm wafer IR

Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800

Op een 300mm-lijn zijn soft bake en hard bake niet slechts thermische stappen—het zijn opbrengstvoeten. Als de IR-verwarming niet uniform is, ziet u lijnbreedtevariatie, edge bead en residu dat de reiniging overleeft. Dit kunt u niet compenseren met inspectie. Los het temperatuurprofiel aan de bron op.

Wat technisch telt
We hebben de 300mm wafer IR-verwarmer gebouwd rond kortegolf-infrarood, met ontworpen reflectoren en een gesloten zoneslussturing. Dit zorgt voor uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C. Die strakke marge beschermt het thermische budget van de photoresist in de volledige filmlaagopbouw. De hete zone blijft deeltjesgecontroleerd voor Class 1–100 cleanroom-integratie, en we hebben nul deeltjesgeneratie geverifieerd via inline metrologie. Herhaalbaarheid is ingebakken in het ontwerp—setpoints leveren hetzelfde thermische profiel run-na-run, lot-na-lot.