Schoon on Custom Infrared Heating Builds

Heter voor op een schuifkar in een halfgeleiderzuiverruimte

Mon, 27 Jul 2026 03:53:31 +0800

Hoe je de verwarmers op je transportwagen veilig houdt (en je wafers intact laat)

In een halfgeleiderzuiverruimte is er simpelweg geen ruimte voor fouten. Wanneer we verwarmers maken voor transportwagens, maken we ons niet alleen zorgen over de gelijkmatige verdeling van de warmte. We maken ons ook zorgen over elektrische lekken. Eén klein vonkje of een klein defect in de isolatie? Dat is al voldoende om een hele partij wafers te beschadigen of om de beveiligingsaansluiting uit te schakelen, waardoor de hele faciliteit stil komt te liggen. Dat is zeker geen fijne situatie voor iedereen.

Infraroodverwarmer voor schone ruimtes

Thu, 23 Jul 2026 11:37:47 +0800

Houd je Class 100-reinruimte echt schoon
Als je een omgeving van klasse 100 (ISO 5) hebt, weet je vast al hoe vervelend het kan zijn wanneer de teller van de aanwezige deeltjes niet correct werkt. Het laatste wat je wilt, is dat de verwarmings-elementen schilfers of gassen afgeven richting het product dat je bewerkt. Standaardverwarmingselementen zijn hierbij berucht: ze lossen op en scheiden oxidelagen af op het moment dat je het het minst verwacht.

Daarom gebruiken we liever infraroodlampen gemaakt van synthetisch kwarts van hoge zuiverheid.
Waarom kwarts?
Het heeft te maken met de materialen. We gebruiken gesmolten silicium met bijna geen onzuiverheden. Hierdoor wordt voorkomen dat er schilfers vrijkomen, zoals bij goedkopere glassoorten.

Infraroodlamp voor schoonmaakkamerbank

Tue, 14 Jul 2026 10:48:42 +0800

Een slimmere manier om te drogen: IR-lampen op het werkblad
Als je ooit tijd hebt doorgebracht in een halfgeleiderreinruimte, weet je hoe het gaat. Je moet zorgen dat alles droog is, en dat gebeurt het beste zonder rommel te maken of je energieverbruik te verhogen.
De meeste mensen gebruiken gewoon warme lucht of chemische oplossingen, maar wij hebben een betere manier gevonden: IR-lampen.

Waarom IR-lampen gebruiken?
Stel je voor dat je een gewone convectieoven gebruikt. Je verwarmt hiermee eigenlijk alleen maar lucht, zodat één klein deeltje kan drogen. Dat is verspilling.
IR-lampen werken anders. Ze gebruiken elektromagnetische straling om hitte rechtstreeks naar het materiaal te sturen. De lucht rondom blijft koud; alleen het materiaal wordt heet.
Het verschil in snelheid is enorm. In plaats van uren te moeten wachten tot het materiaal klaar is, duurt het slechts seconden. Het is sneller, efficiënter, en je electriciteitsrekening zal je dankbaar zijn.

Upgrade van apparatuur in schone ruimtefabriek

Sun, 12 Jul 2026 09:29:41 +0800

Waarom wij overgaan op IR-technologie in de productiefaciliteiten
Wanneer je de apparatuur in een schone ruimte wilt upgraden voor gebruik in een moderne productielijn, moet je een balans vinden tussen verschillende factoren. Je wilt immers voldoen aan de eisen van ‘leidvrije’ en ‘groene’ productieprocessen, maar tegelijkertijd mag de productiesnelheid niet afnemen.

De meeste mensen beginnen met convectiekosten. Maar hier zit het probleem: ze verwarmen alleen de lucht. Dit gebeurt langzaam, er gaat veel energie verloren, en je maakt je constant zorgen over eventuele deeltjes die op de wafer terechtkomen.

Stoomoven voor schone ruimte infraroodverwarmer

Thu, 18 Jun 2026 04:05:37 +0800

Op de lithografieafdeling is het belangrijk dat de temperatuur gelijkmatig is tijdens het bakproces. Het gaat hier om een cruciale factor voor de kwaliteit van het eindproduct. Een verschil van 1°C tussen verschillende delen van de chip kan de controle over de CD-waarde beïnvloeden en defecten in de fotoresist veroorzaken. We hebben onze IR-verwarmers zo ontworpen dat deze deze variabiliteit bij de bron wegnemen.

Wat technisch gezien belangrijk is: De kortegolf-Infrarood-elementen zorgen voor een snelle, directe warmteoverdracht naar de chip. Hierdoor wordt de gewenste temperatuur al na enkele seconden bereikt. De temperatuurvariatie op het oppervlak van de chip blijft binnen ±0,1°C. De herhaalbaarheid van het proces blijft ook binnen strenge grenzen. De verwarmers zijn geschikt voor gebruik in zuiverruimten van klasse 1–100. Ze hebben gesloten verbindingen en geen zichtbare gloeidraden, zodat er geen deeltjes worden geproduceerd. De prestaties van de verwarmers blijven stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% temperatuurvariatie.