IR on Custom Infrared Heating Builds

Aluminiumreflector voor IR lamp

Fri, 24 Jul 2026 11:24:14 +0800

Stop met het verspillen van warmte: een eenvoudige oplossing voor IR-lekken

In een halfgeleidertechnologiefabriek is warmte een lastig fenomeen. Wanneer je hoge-sterkte IR-lampen gebruikt, gaat veel van die energie gewoon verloren. De energie raakt de chip niet, maar kaatst af op de binnenmuren van het apparaat. Hierdoor wordt het dure apparaat zelf een soort gigantische radiator. Dit is inefficiënt en bovendien een gevaar voor iedereen die zich in de buurt bevindt.

De oplossing is eigenlijk vrij simpel: combineer de IR-lamp met een precisiegelijkende aluminiumreflector.

Precisiezweeflinterceptiesensor voor wafer

Wed, 15 Jul 2026 09:50:14 +0800

Zorgen voor veiligheid bij het verhitten van brandbare chemikalien
Laten we eerlijk zijn: het verhitten van plakjes in chemische baden is een spannende taak. Wanneer je werkt met vluchtige, brandbare oplosmiddelen, zijn de risico’s groot. Eén kleine vonk of een lamp die op het verkeerde moment uitgaat, kan tot een explosie leiden. Het is een nachtmerriescenario.

Daarom bouwen we de lampen niet zomaar – we hullen ze in een beschermend omhulsel. We isoleren de elektrische onderdelen van alles anders, zodat de omgeving rondom de lamp geen gevaar vormt.

Ceramisch eindkapje voor IR emitter

Thu, 09 Jul 2026 05:03:24 +0800

Hoe we een IR-verwarmer ontwerpen zonder enige vorm van vervuiling
Als u een klasse-100-schoonmaakruimte hebt, weet u vast al dat standaardverwarmers niet geschikt zijn. Ze leveren namelijk kleine deeltjes af en geven gassen af die afkomstig zijn van goedkopere materialen. Dat is een risico dat u zich niet kunt veroorloven.

Dus dit is wat we hebben gedaan: we hebben onze IR-verwarmer gebouwd rondom een keramische afsluiting. Hierdoor blijven de elektrische verbindingen ver weg van de schone zone. Op deze manier zit er in uw schone lucht alleen maar een kwartsglasbuis van hoge zuiverheid. Niets anders.

Uniforme warmte voor 300 mm wafer IR

Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800

Op een 300mm-lijn zijn soft bake en hard bake niet slechts thermische stappen—het zijn opbrengstvoeten. Als de IR-verwarming niet uniform is, ziet u lijnbreedtevariatie, edge bead en residu dat de reiniging overleeft. Dit kunt u niet compenseren met inspectie. Los het temperatuurprofiel aan de bron op.

Wat technisch telt
We hebben de 300mm wafer IR-verwarmer gebouwd rond kortegolf-infrarood, met ontworpen reflectoren en een gesloten zoneslussturing. Dit zorgt voor uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C. Die strakke marge beschermt het thermische budget van de photoresist in de volledige filmlaagopbouw. De hete zone blijft deeltjesgecontroleerd voor Class 1–100 cleanroom-integratie, en we hebben nul deeltjesgeneratie geverifieerd via inline metrologie. Herhaalbaarheid is ingebakken in het ontwerp—setpoints leveren hetzelfde thermische profiel run-na-run, lot-na-lot.