Temperatursensor voor wafergereedschap

Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800

Stop met gissen naar de temperatuur van de wafers

Als je probeert een “Smart Fab” op te zetten, heb je vast al gemerkt dat reageren op problemen nadat ze zich hebben voorgedaan een nachtmerrie is. Je moet weten wat er op dit moment gebeurt.

Maar hier ligt het probleem met de apparaten die worden gebruikt voor het meten van de temperatuur van wafers: je kunt geen thermocouple gewoon op het substraat plaatsen. Dat zou de hele lading vervuilen of de wafer fysiek beschadigen. Het is dus niet haalbaar.

Infraroodlamp voor Applied Materials apparaat

Mon, 22 Jun 2026 23:18:52 +0800

Op de wafervloer betekent een temperatuur van 90°C geen simpel getal – het is eerder een soort ‘thermisch budget’ voor het beheersen van de lijndikte. Als de oplosmiddelen in de fotoresist met een halve graad worden verplaatst, zorgen deze defecten voor problemen die pas na het ontwikkelen zichtbaar worden. We hebben dus een infraroodlamp ontworpen voor de apparaten van Applied Materials, zodat deze afwijkingen op de bron kunnen worden tegengegaan.

Wat technisch gezien belangrijk is: Het gaat om kortegolf-infraroodlicht dat is afgestemd op de absorptie van de fotoresistlaag. De echte vereiste is thermische uniformiteit: ±0,1°C over het oppervlak van de wafer tijdens het bakken. Dit wordt gemeten met gekalibreerde thermocoupons onder invloed van procesgassen. De kwartsomhulling en keramische onderdelen zijn geschikt voor gebruik in schone ruimtes en zijn ontworpen voor gebruik in klassen 1–100, zonder dat er partikels worden geproduceerd wanneer alles in balans is.

De Tekst Bevat on Custom Infrared Heating Builds

Temperatursensor voor wafergereedschap

Stop met gissen naar de temperatuur van de wafers

Infraroodlamp voor Applied Materials apparaat