http://ir-heat-build.com/nl/tags/300-mm/ Recent content in 300 Mm on Custom Infrared Heating Builds Hugo nl Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/nl/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/nl/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Uniforme warmte voor 300 mm wafer IR"></p> <p>Op een 300mm-lijn zijn soft bake en hard bake niet slechts thermische stappen—het zijn opbrengstvoeten. Als de IR-verwarming niet uniform is, ziet u lijnbreedtevariatie, edge bead en residu dat de reiniging overleeft. Dit kunt u niet compenseren met inspectie. Los het temperatuurprofiel aan de bron op.</p> <p><strong>Wat technisch telt</strong><br> We hebben de 300mm wafer IR-verwarmer gebouwd rond kortegolf-infrarood, met ontworpen reflectoren en een gesloten zoneslussturing. Dit zorgt voor uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C. Die strakke marge beschermt het thermische budget van de photoresist in de volledige filmlaagopbouw. De hete zone blijft deeltjesgecontroleerd voor Class 1–100 cleanroom-integratie, en we hebben nul deeltjesgeneratie geverifieerd via inline metrologie. Herhaalbaarheid is ingebakken in het ontwerp—setpoints leveren hetzelfde thermische profiel run-na-run, lot-na-lot.</p>