웨이퍼의 온도를 더 이상 추측하지 마세요. “스마트 팹”을 구축하려는 경우, 문제가 발생한 후에 그에 대응하는 것은 악몽과 같다는 것을 아실 것입니다. 지금 당장 무슨 일이 일어나고 있는지 알아야 합니다. 하지만 웨이퍼 측정 장비의 경우, 단순히 서브스트레이트에 서모...

웨이퍼를 가열할 때 90°C라는 온도는 단순한 수치에 불과합니다. 이는 웨이퍼의 선폭을 제어하기 위한 열적 조건을 나타내는 것입니다. 포토레지스트 용매의 남아있는 양을 반도 정도 줄이면, 현상 과정에서야 비로소 문제가 발생합니다. Applied Materials의 장...