균일 가열 웨이퍼 건조기

생산 라인에서는 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 온도가 0.1°C만 변동해도 웨이퍼의 품질에 악영향을 미쳐 이물질이 생기고 수율도 저하됩니다. 일반적인 건조기들은 열 변화로 인해 발생하는 웨이퍼 간 온도 차이나 입자 형성 문제를 해결하기 어렵습니다. 우리는 이...