http://ir-heat-build.com/ko/tags/%EC%9B%90%EC%86%8C/ Recent content in 원소 on Custom Infrared Heating Builds Hugo ko Wed, 03 Jun 2026 12:15:22 +0800 http://ir-heat-build.com/ko/posts/vacuum-oven-heating-element-fab/ Wed, 03 Jun 2026 12:15:22 +0800 http://ir-heat-build.com/ko/posts/vacuum-oven-heating-element-fab/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="진공 오븐 히터 제작"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>현장에서는 포토레지스트 베이크가 단순한 예열이 아니다. 이는 엄격한 공정 경계선이다.<br> 소프트 베이크나 하드 베이크에서 온도가 몇 도만 벗어나도, 치명적인 치수 제어가 무너진다. 라인이 에칭 전에 웨이퍼를 이미 불량 처리하기 시작한다. 그래서 진공 오븐의 히팅 요소들은 챔버 내, 배치 전체, 그리고 주 단위로 열 균일성을 유지해야 한다.</p>