http://ir-heat-build.com/ko/tags/%EC%98%A8%EB%8F%84/ Recent content in 온도 on Custom Infrared Heating Builds Hugo ko Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800 http://ir-heat-build.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800 http://ir-heat-build.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="웨이퍼 처리 장비용 온도 센서"></p> <h1 id="웨이퍼의-온도를-더-이상-추측하지-마세요">웨이퍼의 온도를 더 이상 추측하지 마세요.</h1> <p>“스마트 팹”을 구축하려는 경우, 문제가 발생한 후에 그에 대응하는 것은 악몽과 같다는 것을 아실 것입니다. 지금 당장 무슨 일이 일어나고 있는지 알아야 합니다.<br> 하지만 웨이퍼 측정 장비의 경우, 단순히 서브스트레이트에 서모커플을 부착할 수는 없습니다. 그렇게 하면 전체 웨이퍼가 오염되거나 웨이퍼 자체가 변형될 수 있습니다. 그러니 이 방법은 사용할 수 없습니다.<br> 그래서 우리는 고효율적인 적외선 센서를 사용합니다. 이 센서들은 웨이퍼를 직접 접촉하지 않고도 열복사를 감지하여 디지털 데이터로 변환해줍니다. 몇 밀리초 만에 웨이퍼 전체의 온도 분포를 파악할 수 있습니다. 정말 빠릅니다.</p> http://ir-heat-build.com/ko/posts/high-precision-temperature-heater/ Sun, 28 Jun 2026 05:20:09 +0800 http://ir-heat-build.com/ko/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="고정밀 온도 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는 빠르게 학습해야 합니다. 포토레지스트를 가열할 때 0.5도만의 오차도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 고정밀 온도 조절 장치를 개발했습니다. 이 장치 덕분에 소프트 베이크와 하드 베이크 과정 모두에서 웨이퍼의 온도가 ±0.1°C 이내로 유지됩니다.</p>