http://ir-heat-build.com/ko/tags/%EC%98%A4%EB%B8%90/ Recent content in 오븐 on Custom Infrared Heating Builds Hugo ko Thu, 18 Jun 2026 04:05:37 +0800 http://ir-heat-build.com/ko/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Thu, 18 Jun 2026 04:05:37 +0800 http://ir-heat-build.com/ko/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="클린룸 오븐 적외선 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정에서의 온도 균일성은 단순히 바람직한 요소가 아닙니다. 이는 생산 효율에 직접적인 영향을 미치는 중요한 요소입니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 1°C라는 작은 온도 변화만으로도 CD 제어에 문제가 생기고, 포토레지스트에 결함이 발생할 수 있습니다. 우리는 이러한 변동성을 원천적으로 없애기 위해 클린룸용 적외선 히터를 개발했습니다.</p> http://ir-heat-build.com/ko/posts/vacuum-oven-heating-element-fab/ Wed, 03 Jun 2026 12:15:22 +0800 http://ir-heat-build.com/ko/posts/vacuum-oven-heating-element-fab/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="진공 오븐 히터 제작"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>현장에서는 포토레지스트 베이크가 단순한 예열이 아니다. 이는 엄격한 공정 경계선이다.<br> 소프트 베이크나 하드 베이크에서 온도가 몇 도만 벗어나도, 치명적인 치수 제어가 무너진다. 라인이 에칭 전에 웨이퍼를 이미 불량 처리하기 시작한다. 그래서 진공 오븐의 히팅 요소들은 챔버 내, 배치 전체, 그리고 주 단위로 열 균일성을 유지해야 한다.</p>