센서 on Custom Infrared Heating Builds

MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

Sat, 25 Jul 2026 04:41:51 +0800

IR을 이용한 MEMS 건조 과정에서의 탄소 감소
MEMS 센서를 제작할 때, 웨이퍼에 붙어 있는 수분을 제거하는 것은 매우 까다로운 작업입니다. 물기를 제거해야 하지만, 단순히 열을 가하면 전체 구조가 변형될 수 있습니다.
그래서 우리는 단파 적외선(IR) 램프를 사용합니다. IR은 방 안의 공기나 벽 등을 따뜻하게 하는 대신, 직접 물 분자를 가열합니다. 즉, 정확한 목표 지점에 열을 가하는 것입니다.
공기를 가열할 필요가 없습니다.
일반적인 대류식 오븐을 생각해보세요. 에너지 소비가 엄청납니다. 웨이퍼가 따뜻해지기 전에 이미 많은 에너지가 낭비됩니다. 반면 IR은 열을 정확히 필요한 곳에 집중시킵니다. 그래서 기계가 따뜻해지는 데 걸리는 시간도 줄어듭니다. 다음 로트가 준비되지 않았다면, 그냥 램프를 끄면 됩니다. 에너지 낭비도 없고, 불필요한 비용도 들지 않습니다.
클린룸 문제
MEMS 환경에서는 아주 작은 먼지 한 알만으로도 큰 문제가 될 수 있습니다. 그로 인해 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 고순도 석영으로 만들어진 커버를 사용합니다. 이러한 커버는 먼지를 방출하지 않으며, 가스도 발생시키지 않습니다.
하지만 문제점도 있습니다. 높은 열 밀도를 얻기 위해서는 필라멘트에 많은 부담이 가해집니다. 주의하지 않으면 필라멘트가 너무 빨리 타버릴 수 있습니다. 이를 해결하기 위해 램프 주변에 냉각 공기를 지속적으로 공급하여 균형을 유지합니다. 모든 것은 균형에 달려 있습니다.
열에 따른 타협점
문제는, 생산 속도를 높이고 싶을수록 더 많은 에너지가 필요하다는 점입니다. 고출력 램프는 생산 속도를 높이는 데 유용하지만, 특히 소켓 부분에서 엄청난 열이 발생합니다.
냉각 시스템이 제대로 작동하지 않으면 배선이 손상되거나 센서가 망가질 수 있습니다. 이는 계속된 타협의 과정입니다. 하드웨어를 시원하게 유지하면서 동시에 웨이퍼의 수분을 완전히 제거해야 합니다.
IR을 사용하는 것은 단순히 속도를 높이는 방법이 아닙니다. 강제 공기 순환 시스템의 불필요한 부분을 없애고, 탄소 중립 목표를 달성하는 더 깨끗한 방법입니다.

웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800

웨이퍼의 온도를 더 이상 추측하지 마세요.

“스마트 팹”을 구축하려는 경우, 문제가 발생한 후에 그에 대응하는 것은 악몽과 같다는 것을 아실 것입니다. 지금 당장 무슨 일이 일어나고 있는지 알아야 합니다.
하지만 웨이퍼 측정 장비의 경우, 단순히 서브스트레이트에 서모커플을 부착할 수는 없습니다. 그렇게 하면 전체 웨이퍼가 오염되거나 웨이퍼 자체가 변형될 수 있습니다. 그러니 이 방법은 사용할 수 없습니다.
그래서 우리는 고효율적인 적외선 센서를 사용합니다. 이 센서들은 웨이퍼를 직접 접촉하지 않고도 열복사를 감지하여 디지털 데이터로 변환해줍니다. 몇 밀리초 만에 웨이퍼 전체의 온도 분포를 파악할 수 있습니다. 정말 빠릅니다.

웨이퍼용 고정밀 IR 센서

Wed, 15 Jul 2026 09:50:14 +0800

가연성 화학물질을 가열할 때 안전을 지키는 방법
솔직히 말해서, 화학 용액 속에서 웨이퍼를 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 휘발성이 강하고 가연성이 높은 용매를 다룰 때는 실수 한 번만으로도 폭발이 일어날 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다.
그래서 우리는 단순히 램프만 만드는 것이 아니라, 그 램프를 보호용 케이스로 감싸줍니다. 전기 부품들을 다른 요소들과 분리함으로써, 주변의 환경이 재해를 일으키지 않도록 합니다.
제작 품질이 중요합니다.
우리는 균열이 생기지 않을 정도로 큰 열충격에 견딜 수 있는 고순도 석영 유리를 사용합니다. 하지만 진짜 핵심은 밀폐 구조에 있습니다. 화학물질의 증기가 연결 부위를 침투하지 못하도록 전극 부분에는 유리-금속 밀봉재를 사용합니다.
그런 다음, 램프의 끝부분을 난연성 접착제로 감싸줍니다. 이는 마치 물리적인 장벽과 같아서, 부식성 가스가 전력이 공급되는 부분에 닿지 못하도록 합니다.
압력 상황에서도 안정적으로 작동해야 합니다.
만약 열 출력이 일정하지 않다면, 웨이퍼 가공 과정이 제대로 이루어지지 않습니다. 과열은 매우 큰 위험이므로, 우리는 와트 수를 매우 신중하게 선택합니다. 램프가 너무 뜨거워지면 용매가 너무 빨리 끓어오를 수 있으며, 최악의 경우 발화점에 도달할 수도 있습니다.
이러한 문제를 방지하기 위해, 우리는 히터와 정밀한 적외선 센서를 함께 사용합니다. 센서는 웨이퍼 표면의 온도를 실시간으로 모니터링합니다. 온도가 급격히 상승하면 컨트롤러가 전력을 줄여줍니다. 간단합니다.
유의해야 할 점들
이러한 추가적인 보호 장치로 인해 램프의 크기가 조금 커집니다. 일반적인 조명기구에 그냥 넣어서는 안 됩니다. 보호용 커버를 설치할 공간이 충분한지 반드시 확인해야 합니다.
또한, 밀폐 구조로 인해 램프의 열 배출 방식이 달라집니다. 그러므로 냉각팬이나 히트싱크가 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 밀폐된 부분에 열이 쌓이면 접착제가 시간이 지남에 따라 손상될 수 있습니다. 그러니 램프를 시원하게 유지해주면 오랫동안 사용할 수 있습니다.

스마트 센서 포장 적외선

Tue, 30 Jun 2026 04:51:15 +0800

스마트 센서 포장 라인에서는 온도의 균일성이 단순한 세부 사항이 아닙니다. 이는 제품의 성공과 실패를 가르는 중요한 요소입니다. 에폭시가 경화되는 동안 웨이퍼의 온도가 1°C만 변동해도, 또는 캡을 밀봉할 때 특정 부위가 과열되면 교정이 어려워지고 결국 제품에 문제가 생길 수 있습니다. 우리는 바로 이러한 상황을 고려하여 적외선 열처리 시스템을 설계했습니다.