http://ir-heat-build.com/ko/tags/%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BC/ Recent content in 리소그래피 on Custom Infrared Heating Builds Hugo ko Wed, 01 Jul 2026 12:21:54 +0800 http://ir-heat-build.com/ko/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 12:21:54 +0800 http://ir-heat-build.com/ko/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ASML 리소그래피 램프 부품"></p> <p>생산 현장에서 리소그래피 램프의 성능이 저하되면, 단순히 특정 공정만 중단되는 것이 아니라, 장치의 형상을 결정하는 전체 공정도 중단됩니다. 램프의 성능이 저하되면, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서의 온도 조절이 제대로 이루어지지 않고, 포토레지스트의 두께도 일정하지 않게 됩니다. 그 결과, 생산 공정의 반복성이 떨어집니다. ASML의 리소그래피 램프는 적절한 온도를 유지하여, 노출, 사전 베이크, 경화 과정들이 정해진 사양대로 진행될 수 있도록 설계되었습니다.</p>