http://ir-heat-build.com/ja/tags/tool/ Recent content in Tool on Custom Infrared Heating Builds Hugo ja Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <h1 id="ウェーハの温度を推測するのはやめましょう">ウェーハの温度を推測するのはやめましょう</h1> <p>「スマートファブ」を構築しようとしているなら、問題が発生した後に対処するのは大変なことだと気づいているはずです。今何が起きているかを即座に把握する必要があります。<br> しかし、ウェーハの計測においては、単純にサブストレートに熱電対を取り付けるわけにはいきません。そうすると、全体のウェーハが汚染されたり、ウェーハ自体が変形してしまったりします。これは不可能です。<br> そのため、私たちは高効率な赤外線センサーを利用します。ウェーハに触れることなく、このセンサーが<a href="https://o-yate.net">熱放射</a>を検出し、それをデジタルデータに変換します。わずか数ミリ秒でウェーハ全体の温度分布が分かります。非常に迅速です。</p> http://ir-heat-build.com/ja/posts/infrared-lamp-for-applied-materials-tool/ Mon, 22 Jun 2026 23:18:52 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/infrared-lamp-for-applied-materials-tool/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="アプリケーションマテリアルズ製ツール用の赤外線ランプ"></p> <p>ウェハーを加熱する際、90℃という温度は単なる数値に過ぎず、実際には線幅制御のための<a href="https://o-yate.com">熱的条件</a>を示しているのです。フォトレジストの溶剤が残存する傾向を半度だけでも変えてしまうと、現像後になって初めて印刷上の欠陥が現れます。そのため、アプライドマテリアルズの装置用に、このような温度の<a href="https://henruite.com">変動</a>を抑えるための赤外線ランプが開発されました。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> これは短波長の赤外線であり、使用するフォトレジストの吸収特性に合わせて調整されています。実際に重要なのは、加熱中のウェハー表面全体での温度均一性です。目標値は±0.1℃です。</p>