http://ir-heat-build.com/ja/tags/%E9%81%A9%E7%94%A8%E6%B8%88%E3%81%BF/ Recent content in 適用済み on Custom Infrared Heating Builds Hugo ja Mon, 22 Jun 2026 23:18:52 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/infrared-lamp-for-applied-materials-tool/ Mon, 22 Jun 2026 23:18:52 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/infrared-lamp-for-applied-materials-tool/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="アプリケーションマテリアルズ製ツール用の赤外線ランプ"></p> <p>ウェハーを加熱する際、90℃という温度は単なる数値に過ぎず、実際には線幅制御のための<a href="https://o-yate.com">熱的条件</a>を示しているのです。フォトレジストの溶剤が残存する傾向を半度だけでも変えてしまうと、現像後になって初めて印刷上の欠陥が現れます。そのため、アプライドマテリアルズの装置用に、このような温度の<a href="https://henruite.com">変動</a>を抑えるための赤外線ランプが開発されました。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> これは短波長の赤外線であり、使用するフォトレジストの吸収特性に合わせて調整されています。実際に重要なのは、加熱中のウェハー表面全体での温度均一性です。目標値は±0.1℃です。</p>