http://ir-heat-build.com/ja/tags/%E7%B2%BE%E5%BA%A6/ Recent content in 精度 on Custom Infrared Heating Builds Hugo ja Wed, 15 Jul 2026 09:50:14 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Wed, 15 Jul 2026 09:50:14 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサ"></p> <p>可燃性化学物質を加熱するときの安全対策<br> 正直言って、化学液にウエハーを浸して加熱するのはとても危険な作業です。揮発性で可燃性の高い溶剤を扱う際には、失敗すれば大惨事につながります。ちょっとした火花や、不適切なタイミングで点灯する照明器具だけで、爆発のリスクが生じます。まさに悪夢のような状況です。</p> http://ir-heat-build.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ Sun, 28 Jun 2026 05:20:07 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="高精度温度ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの<a href="https://o-yate.net">現場</a>では、素早く学ぶ必要があります。フォトレジストを加熱する際に半度程度の温度変動があっても、ウェーハの寸法に影響を与え、多くの製品が廃棄処分になってしまいます。そのような事態を防ぐために、私たちは高精度の温度制御装置を開発しました。これにより、ソフトベイクでもハードベイクでも、ウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に維持できます。</p> <p>重要なのは、制御性、再現性、そして線路の清潔さです。</p> <p>このヒーターは短波赤外線を使用しているため、迅速かつ再現性良く反応し、ウェーハの温度を安定させることができます。石英コンポーネントやクリーンルーム対応の構造により、粒子の発生を完全に抑えることができます。これは、クラス1～100の環境で必要な条件です。センサーと制御装置が連携してリアルタイムで動作するため、たとえラインの<a href="https://goldisgood.com">電圧</a>が不安定でも、フォトレジスト処理の設定値は一貫して保たれます。</p>