ファブ空調ヒーターモジュール

製造現場において、フォトレジストの加熱処理中に生じる温度の変動は、単なる理論上の問題ではありません。それは実際に品質低下を引き起こす要因です。もし、高温域でウェーハの温度を±0.1℃以内に保つことができなければ、重要な寸法が変わってしまい、毎日同じような欠陥が発生することになります。私たちは、この...