http://ir-heat-build.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on Custom Infrared Heating Builds Hugo ja Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <h1 id="ウェーハの温度を推測するのはやめましょう">ウェーハの温度を推測するのはやめましょう</h1> <p>「スマートファブ」を構築しようとしているなら、問題が発生した後に対処するのは大変なことだと気づいているはずです。今何が起きているかを即座に把握する必要があります。<br> しかし、ウェーハの計測においては、単純にサブストレートに熱電対を取り付けるわけにはいきません。そうすると、全体のウェーハが汚染されたり、ウェーハ自体が変形してしまったりします。これは不可能です。<br> そのため、私たちは高効率な赤外線センサーを利用します。ウェーハに触れることなく、このセンサーが<a href="https://o-yate.net">熱放射</a>を検出し、それをデジタルデータに変換します。わずか数ミリ秒でウェーハ全体の温度分布が分かります。非常に迅速です。</p> http://ir-heat-build.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ Sun, 28 Jun 2026 05:20:07 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="高精度温度ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの<a href="https://o-yate.net">現場</a>では、素早く学ぶ必要があります。フォトレジストを加熱する際に半度程度の温度変動があっても、ウェーハの寸法に影響を与え、多くの製品が廃棄処分になってしまいます。そのような事態を防ぐために、私たちは高精度の温度制御装置を開発しました。これにより、ソフトベイクでもハードベイクでも、ウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に維持できます。</p> <p>重要なのは、制御性、再現性、そして線路の清潔さです。</p> <p>このヒーターは短波赤外線を使用しているため、迅速かつ再現性良く反応し、ウェーハの温度を安定させることができます。石英コンポーネントやクリーンルーム対応の構造により、粒子の発生を完全に抑えることができます。これは、クラス1～100の環境で必要な条件です。センサーと制御装置が連携してリアルタイムで動作するため、たとえラインの<a href="https://goldisgood.com">電圧</a>が不安定でも、フォトレジスト処理の設定値は一貫して保たれます。</p>