http://ir-heat-build.com/ja/tags/%E5%88%B6%E6%9C%8D/ Recent content in 制服 on Custom Infrared Heating Builds Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 08:19:19 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/uniform-heating-wafer-dryer/ Thu, 02 Jul 2026 08:19:19 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/uniform-heating-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="均一加熱ウェーハドライヤ"></p> <p>ファブの現場では、ソフトベイクやハードベイクの際に0.1℃の温度変動があるだけで、ウェーハの特性が変わってしまい、スカムが発生したり、歩留まりが低下したりします。従来の乾燥装置では、熱的な急変後に生じるウェーハ間の温度差や粒子の発生を抑制するのが難しいです。私たちは、このような不確実性を排除するためにこのウェーハ乾燥装置を開発しました。</p> http://ir-heat-build.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="300mmウェーハの均一加熱IR"></p> <p>300mmラインにおいて、ソフトベイクおよびハードベイクは単なる熱処理ステップではなく、歩留まり管理のゲートである。IR加熱が均一でなければ、ライン幅のばらつき、エッジビード、および洗浄に耐えるスカムが発生する。検査だけでこれを回避することはできない。温度プロファイルを根本から修正する必要がある。</p>