http://ir-heat-build.com/ja/tags/%E5%85%83%E7%B4%A0/ Recent content in 元素 on Custom Infrared Heating Builds Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 12:15:22 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/vacuum-oven-heating-element-fab/ Wed, 03 Jun 2026 12:15:22 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/vacuum-oven-heating-element-fab/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="真空オーブン加熱素子製造"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>ファブフロアにおいて、フォトレジストのベイクは単なるウォームアップではなく、厳格なプロセスの境界である。 ソフトベイクやハードベイクで数度の温度誤差が生じると、クリティカルディメンションの管理が崩壊し、エッチングに到達する前にラインがウェーハをリジェクトし始める。そのため、真空オーブンの加熱要素はチャンバー全体、バッチ全体、さらには週単位での熱均一性を維持しなければならない。</p>