http://ir-heat-build.com/ja/tags/%E3%83%A2%E3%82%B8%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%83%AB/ Recent content in モジュール on Custom Infrared Heating Builds Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 06:42:07 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/fab-air-conditioning-heater-module/ Mon, 29 Jun 2026 06:42:07 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/fab-air-conditioning-heater-module/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ファブ空調ヒーターモジュール"></p> <p>製造現場において、フォトレジストの加熱処理中に生じる温度の変動は、単なる理論上の問題ではありません。それは実際に品質低下を引き起こす要因です。もし、高温域でウェーハの温度を±0.1℃以内に保つことができなければ、重要な寸法が変わってしまい、毎日同じような欠陥が発生することになります。私たちは、このような温度変動を<a href="https://henruite.com">根本的</a>に防ぐために、熱の供給を再現可能かつ厳密に制御する空調・ヒーターモジュールを開発しました。</p>