クリーン on Custom Infrared Heating Builds

半導体クリーンルーム用トロリーアヒージャー

Mon, 27 Jul 2026 03:53:06 +0800

クリーンルーム内で使用するヒーターを安全に保つために（そしてウエハーを損傷から守るために）
半導体製造のクリーンルームでは、ミスの余地は一切ありません。輸送用トロリー用のヒーターを製造する際には、単に温度が均一かどうかだけでなく、電気的な漏れも懸念されます。わずかなアークや絶縁体の劣化があれば、大量のウエハーが破壊されたり、施設全体の電源が遮断されたりしてしまいます。誰にとっても最悪の状況です。

クリーンルーム用赤外線ヒーター

Thu, 23 Jul 2026 11:37:47 +0800

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
もしクラス100（ISO 5）の環境を維持しているのであれば、粒子数の測定結果が悪くなるという問題をご存知でしょう。最悪なのは、加熱要素から剥離した微粒子や有害ガスがワークピースに付着してしまうことです。一般的な抵抗式ヒーターは、このような問題を引き起こしやすいのです。予期しない時に酸化層が剥がれ落ちてしまいます。

そのため、私たちは高純度の合成石英を使用した赤外線ランプを利用しています。
なぜ石英なのか？
それは素材の違いにあります。私たちはほぼ不純物のない融解シリカを使用しています。これにより、安価なガラス製品でよく見られる問題が解消されます。

クリーンルーム用ベンチ型赤外線ランプ

Tue, 14 Jul 2026 10:48:41 +0800

より効率的な硬化方法：ベンチ上での赤外線ランプの利用
半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その手順はよく知っているでしょう。部品を乾燥させ、硬化させる必要がありますが、その際に汚れを作ったり、電力消費を増やしたりしてはいけません。
多くの場合、強制送風や化学溶剤が使われますが、私たちはもっと良い方法を見つけました。それが赤外線ランプです。

クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

Thu, 18 Jun 2026 04:05:37 +0800

リソグラフィーの工程において、ソフトベイク時の温度均一性は単なる望ましい条件ではありません。それは製品品質を左右する重要な要素です。ウェーハ全体で1℃の温度差が生じるだけで、CDの精度が悪化し、フォトレジストに欠陥が生じます。私たちは、このような変動を根本的に解消するために、クリーンルーム用の赤外線ヒーターを開発しました。