http://ir-heat-build.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウェハー on Custom Infrared Heating Builds Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="300mmウェーハの均一加熱IR"></p> <p>300mmラインにおいて、ソフトベイクおよびハードベイクは単なる熱処理ステップではなく、歩留まり管理のゲートである。IR加熱が均一でなければ、ライン幅のばらつき、エッジビード、および洗浄に耐えるスカムが発生する。検査だけでこれを回避することはできない。温度プロファイルを根本から修正する必要がある。</p>