Sensor di temperatura per strumento a wafer

Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800

Smettete di indovinare le temperature delle wafer
Se state cercando di creare una “fabbrica intelligente”, probabilmente avrete capito che reagire ai problemi dopo che si sono verificati è un vero incubo. È necessario conoscere cosa sta succedendo in questo momento.
Ma c’è un problema con gli strumenti utilizzati per misurare le temperature delle wafer: non si può semplicemente installare un termocuplo sul substrato. In tal modo si contaminerebbe l’intera produzione o la wafer potrebbe subire deformazioni fisiche. Quindi non è una soluzione praticabile.
Ecco perché affidiamoci a sistemi a infrarossi ad alta efficienza. Questi sensori non toccano affatto la wafer; si limitano a rilevare la radiazione termica e a trasformarla in dati digitali. In pochi millisecondi si ottiene una mappa completa delle temperature sulla superficie della wafer. È molto veloce. Davvero veloce.

Riscaldatore a temperatura ad alta precisione

Sun, 28 Jun 2026 05:20:09 +0800

Nel settore della litografia si impara in fretta: anche un piccolo spostamento di mezzo grado durante la fase di essiccazione del fotorest è sufficiente per alterare le dimensioni critiche dei componenti, rendendo così inutilizzabili i prodotti ottenuti. Abbiamo sviluppato un sistema di riscaldamento ad alta precisione per evitare che ciò accada, mantenendo una uniformità termica su tutto il wafer entro i ±0,1°C, sia durante la fase di essiccazione leggera che quella intensiva.

Quello che conta davvero è il controllo preciso, la ripetibilità delle operazioni e il mantenimento di condizioni ottimali all’interno dell’ambiente di lavorazione.

Temperatura on Custom Infrared Heating Builds

Sensor di temperatura per strumento a wafer

Riscaldatore a temperatura ad alta precisione