Lampada a infrarossi per strumento Applied Materials

Mon, 22 Jun 2026 23:18:52 +0800

Sul piano di lavoro della piastra, una cottura a 90°C non rappresenta semplicemente una temperatura specifica: è piuttosto il “budget termico” necessario per controllare la larghezza delle linee da stampare. Se si aumenta di mezzo grado la temperatura di conservazione del fotorestista, i prodotti finiti presenteranno difetti visibili soltanto dopo lo sviluppo. Abbiamo quindi progettato una lampada a infrarossi per gli strumenti di Applied Materials, al fine di ridurre tali deviazioni termiche.

Ciò che è importante dal punto di vista tecnico
Si tratta di radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda, selezionate apposta per essere compatibili con le caratteristiche di assorbimento dei fotorestisti utilizzati. La caratteristica fondamentale è l’uniformità termica: ±0,1°C su tutta la superficie della piastra durante la cottura. Questo valore viene misurato tramite termocoppie calibrate, in condizioni di flusso di gas di processo; tale valore rimane costante per tutto il periodo di cottura. L’involucro in quarzo e le componenti in ceramica sono progettate per funzionare in ambienti sterili di classe 1–100, senza generare particelle una volta raggiunto lo stato stabile. La ripetibilità delle prestazioni rimane entro l’1% anche dopo 5.000 ore di funzionamento, così che lo stesso profilo di funzionamento della lampada garantisca sempre risultati coerenti tra un lotto e l’altro.

Materiali on Custom Infrared Heating Builds

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