IR on Custom Infrared Heating Builds

Reflektor aluminium untuk lampu IR

Fri, 24 Jul 2026 11:24:14 +0800

Hentikan pemborosan panas: Solusi sederhana untuk mengatasi kebocoran energi inframerah
Di pabrik semikonduktor, panas merupakan masalah yang serius. Ketika lampu inframerah berdaya tinggi digunakan, sebagian besar energinya malah terbuang sia-sia. Energi tersebut tidak sampai ke wafer, melainkan memantul di dinding-dinding bagian dalam mesin. Hal ini membuat bodi mesin menjadi semacam “radiator raksasa”. Hal ini sangat tidak efisien, dan tentu saja merupakan ancaman bagi keselamatan orang-orang yang berada di dekatnya.

Solusinya sebenarnya cukup sederhana: gunakan reflektor alumunium berkualitas tinggi untuk membantu mengarahkan sinar inframerah tersebut.

Sensor IR berkualitas tinggi untuk wafer

Wed, 15 Jul 2026 09:50:14 +0800

Mengamankan Bahan-Bahan yang Mudah Terbakar Saat Pemanasan
Sejujurnya, memanaskan bahan-bahan kimia yang mudah terbakar merupakan hal yang sangat berisiko. Ketika kita bekerja dengan solvent yang mudah terbakar, risikonya sangat tinggi. Sebuah percikan kecil atau lampu yang menyala pada saat yang tidak tepat saja sudah cukup untuk memicu ledakan. Itu merupakan skenario yang mengerikan.

Itulah mengapa kita tidak hanya membuat lampu biasa saja—kita melapisi lampu tersebut dengan lapisan pelindung. Kita memisahkan komponen listrik dari bagian lainnya, sehingga udara di sekitarnya tidak dapat menyebabkan bencana.

Ujung ceramik untuk emitor IR

Thu, 09 Jul 2026 05:03:24 +0800

Cara Kami Menciptakan Sistem Pemanasan IR yang Bebas Kontaminasi
Jika Anda mengelola ruang bersih kelas 100, Anda pasti sudah tahu fakta ini: elemen pemanas standar sama sekali tidak memadai untuk digunakan di sana. Elemen pemanas tersebut mengeluarkan partikel-partikel kecil, serta gas dari bahan-bahan berkualitas rendah. Hal ini merupakan risiko yang tidak boleh diabaikan.

Oleh karena itu, kami menciptakan sistem pemanas IR yang menggunakan kapasitor seramik sebagai bagian utamanya. Kapasitor seramik ini memisahkan koneksi listrik dari zona bersih tersebut. Dengan demikian, satu-satunya komponen yang ada di udara bersih tersebut hanyalah tabung kaca kuarsa berkualitas tinggi. Tidak ada komponen lainnya.

Panas seragam untuk wafer 300mm IR

Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800

Pada lini 300mm, soft bake dan hard bake bukan hanya langkah termal—mereka adalah gerbang hasil produksi. Jika pemanasan IR Anda tidak seragam, Anda akan melihat variasi garis lebar, edge bead, dan sisa scum yang tetap ada setelah proses pembersihan. Anda tidak bisa mengatasi itu hanya dengan inspeksi. Perbaiki profil suhu dari sumbernya.

Apa yang penting secara teknis
Kami membangun pemanas IR wafer 300mm menggunakan inframerah gelombang pendek, dengan reflektor yang dirancang khusus dan kontrol zona tertutup. Hal ini menghasilkan uniformitas pada level wafer dalam kisaran ±0,1°C. Rentang ketat itu menjaga anggaran termal photoresist di seluruh lapisan film. Zona panas tetap terkendali partikelnya untuk integrasi cleanroom kelas 1–100, dan kami telah memverifikasi tidak ada partikel yang dihasilkan berdasarkan metrologi inline. Reproduksibilitas sudah menjadi bagian dari desain—setpoint mengembalikan profil termal yang sama dari sekali proses ke proses berikutnya, dari satu lot ke lot berikutnya.