http://ir-heat-build.com/id/tags/300mm/ Recent content in 300mm on Custom Infrared Heating Builds Hugo id Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/id/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/id/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Panas seragam untuk wafer 300mm IR"></p> <p>Pada lini 300mm, soft bake dan hard bake bukan hanya langkah termal—mereka adalah gerbang hasil produksi. Jika pemanasan IR Anda tidak seragam, Anda akan melihat variasi garis lebar, edge bead, dan sisa scum yang tetap ada setelah proses pembersihan. Anda tidak bisa mengatasi itu hanya dengan inspeksi. Perbaiki profil suhu dari sumbernya.</p> <p><strong>Apa yang penting secara teknis</strong><br> Kami membangun pemanas IR wafer 300mm menggunakan inframerah gelombang pendek, dengan reflektor yang dirancang khusus dan kontrol zona tertutup. Hal ini menghasilkan uniformitas pada level wafer dalam <a href="https://o-yate.com">kisaran</a> ±0,1°C. Rentang ketat itu menjaga anggaran termal photoresist di seluruh lapisan film. Zona panas tetap terkendali <a href="https://o-yate.net">partikelnya</a> untuk integrasi cleanroom kelas 1–100, dan kami telah memverifikasi tidak ada partikel yang dihasilkan berdasarkan <a href="https://goldisgood.com">metrologi</a> inline. Reproduksibilitas sudah menjadi bagian dari desain—setpoint mengembalikan profil termal yang sama dari sekali proses ke proses berikutnya, dari satu lot ke lot berikutnya.</p>