Hentikan kebiasaan memanaskan dinding ruang vakum tersebut.
Jika Anda pernah menggunakan lampu IR berdaya tinggi di dalam ruang vakum, Anda pasti tahu betapa sulitnya hal tersebut. Karena tidak ada udara yang dapat mengalirkan panas tersebut, maka energi panas tersebut akan tersimpan di dinding ruang vakum.
Hal ini bukan hanya pemborosan listrik saja, tetapi juga berbahaya. Dinding ruang vakum bisa menjadi sangat panas sehingga dapat melukai operator atau merusak komponen-komponen yang seharusnya dilindungi. Ini bukan cara yang baik untuk menjalankan laboratorium.
Cara terbaik adalah mengarahkan panas ke tempat yang memang membutuhkannya.
Alih-alih membiarkan radiasi panas menyebar ke segala arah, kita menggunakan teknologi IR yang bersifat terarah. Bayangkan saja seperti senter, bukan bohlam biasa. Kita menggunakan reflektor internal dan lapisan khusus untuk mengarahkan seluruh energi panas tersebut tepat ke permukaan wafer atau substrat yang akan diproses.
Hasilnya? Permukaan yang diproses akan mendapatkan panas yang dibutuhkannya, sementara bagian peralatan tetap dingin saat disentuh.
Namun, Anda tidak bisa sembarangan memilih lampu yang digunakan. Elemen pemanas standar justru akan merusak sistem vakum. Jika lampu tersebut melepaskan senyawa organik volatil, hal tersebut akan mencemari ruang vakum dan merusak seluruh produk semikonduktor yang diproses.
Itulah sebabnya kita menggunakan kuarsa berkualitas tinggi serta bahan pengelasan yang kuat. Filamen lampu dirancang untuk bertahan dalam suhu ekstrem tanpa merusak sistem vakum.
Namun, ada satu masalah.
Ketika sinar panas difokuskan dengan sangat kuat, densitas panasnya akan sangat tinggi. Waktu yang diperlukan untuk memanaskan suatu objek akan berkurang secara signifikan, yang tentu merupakan hal yang baik. Namun, hal ini berarti Anda perlu sangat teliti dalam menyesuaikan fokus dan daya lampu. Jika ada kesalahan sedikit saja, substrat bisa terbakar. Ini merupakan tantangan yang harus diatasi dengan hati-hati.
Berita baiknya adalah, peralatan ini dirancang untuk menggantikan array IR standar. Pastikan saja bahwa sumber daya listrik yang digunakan mampu menangani tegangan dan arus yang dibutuhkan—karena peralatan ini membutuhkan daya yang lebih besar dibandingkan peralatan standar.