חלקי חילוף למנורת הליתוגרפיה של ASML

Wed, 01 Jul 2026 12:21:54 +0800

בקומת הייצור, כשמנורת הליתוגרפיה מפסיקה לעבוד, היא לא רק עוצרת את השימוש בכלי הנדרש לייצור – היא גם עוצרת את כל התהליך שאחראי על עיצוב המכשיר. כשהמנורה מתחילה לתפקד בצורה לא טובה, הפרופילים של תהליכי החימום משתנים, עובי החומר הפוטורזיסט נע בין ערכים שונים, וכתוצאה מכך יורדת האמינות של התהליך. מנורות הליתוגרפיה של ASML נוצרו כך שהן ישמרו על הטמפרטורה הנכונה, כך ששלבי החשיפה, החימום והיישום יתבצעו על פי המפרטים הנדרשים.

מה חשוב באמת? אנו משתמשים במקורות אור באורך גל קצר ובינוני שתואמים את עקומת הספיגה של החומר הפוטורזיסט, כך שניתן לקבל תוצאות יציבות בטווח של 300 ננומטר עד 1100 ננומטר. על פני שטח החימום, האחידות התרמית של הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, ונקודות הטמפרטורה נשארות יציבות בתוך מספר מעט של מעלות. המעטפת של המנורה והגאומטריה של החוטים שבה מאפשרים שמירה על יציבות האור לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם ירידה בהספק של פחות מ-5%. התאמה לסביבות נקיות מסוג Class 1–100 נוצרת בזכות שימוש בחומרים שאינם פולטים גזים, ועיצוב שמונע זיהום של הוואפר.

ASML on Custom Infrared Heating Builds

חלקי חילוף למנורת הליתוגרפיה של ASML