Capteur de température pour outil de wafer

Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800

Arrêtez de deviner les températures des wafers

Si vous essayez de créer une « usine intelligente », vous avez sûrement réalisé que réagir aux problèmes après qu’ils se soient produits est un cauchemar. Il est nécessaire de savoir ce qui se passe en ce moment même.
Mais voilà le problème avec les outils utilisés pour manipuler les wafers : on ne peut pas simplement brancher un thermocouple sur le substrat. Cela contaminerait toute la série de wafers ou endommagerait physiquement le wafer lui-même. C’est donc impossible.
C’est pourquoi nous recourons à des systèmes infrarouges à haute efficacité. Au lieu de toucher le wafer, ces capteurs surveillent simplement la radiation thermique et la transforment en données numériques. On obtient ainsi une carte de température complète du wafer en quelques millisecondes. C’est rapide… vraiment rapide.

Lampe infrarouge pour l outil Applied Materials

Mon, 22 Jun 2026 23:18:52 +0800

Sur le sol de la salle de traitement des wafers, une température de 90 °C n’est pas simplement une valeur numérique : c’est plutôt un paramètre essentiel pour contrôler l’épaisseur des lignes imprimées. Si l’on augmente ou diminue cette température d’un demi-degré, les wafers produits présenteront des défauts qui ne se manifesteront que lors du développement ultérieur. Nous avons donc conçu une lampe infrarouge pour les outils d’Applied Materials, afin de limiter ces variations de température.

Outil on Custom Infrared Heating Builds

Capteur de température pour outil de wafer

Arrêtez de deviner les températures des wafers

Lampe infrarouge pour l outil Applied Materials