http://ir-heat-build.com/fr/tags/mems/ Recent content in MEMS on Custom Infrared Heating Builds Hugo fr Sat, 25 Jul 2026 04:41:51 +0800 http://ir-heat-build.com/fr/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-ir-heating-systems/ Sat, 25 Jul 2026 04:41:51 +0800 http://ir-heat-build.com/fr/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-ir-heating-systems/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Chauffage de séchage de wafer pour capteur MEMS"></p> <p>Réduction des émissions de carbone dans le séchage des MEMS à l’aide de la lumière infrarouge<br> Lors de la fabrication de capteurs MEMS, il est essentiel d’éliminer l’humidité présente sur les wafer. Il faut bien sûr se débarrasser de l’eau, mais on ne peut pas simplement utiliser de la chaleur pour cela, car cela risquerait de déformer l’ensemble du dispositif. C’est pourquoi nous utilisons des lampes à rayonnement infrarouge à ondes courtes. Au lieu de chauffer l’air, les murs et tout ce qui se trouve dans la pièce, la lumière infrarouge cible directement les molécules d’eau. C’est un impact direct.</p> http://ir-heat-build.com/fr/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Fri, 05 Jun 2026 03:52:52 +0800 http://ir-heat-build.com/fr/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Chauffage infrarouge pour la fabrication de MEMS"></p> <h1 id="sur-le-plancher-de-fabrication">Sur le plancher de fabrication</h1> <p>La dérive de température pendant la cuisson du photoresist n&rsquo;est pas un exercice académique. Elle se manifeste par des variations de largeur de ligne, une mauvaise adhésion et des wafers qui finissent dans la benne à déchets. Dans les MEMS, où les budgets thermiques sont serrés et les <a href="https://henruite.com">films</a> sont fins, vous pouvez perdre du rendement sur une excursion de 0,5 °C. Vous avez besoin d&rsquo;un chauffage qui maintient le point de consigne comme un étau, cycle après cycle.</p>