http://ir-heat-build.com/fa/tags/%D9%84%DB%8C%D8%AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C/ Recent content in لیتوگرافی on Custom Infrared Heating Builds Hugo fa Wed, 01 Jul 2026 12:21:54 +0800 http://ir-heat-build.com/fa/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 12:21:54 +0800 http://ir-heat-build.com/fa/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="قطعه یدکی لامپ لیتوگرافی ASML"></p> <p>در خط تولید، خاموش شدن لامپ لیتوگرافی نه تنها باعث توقف عملکرد ابزار مربوطه می‌شود، بلکه کل فرآیند تعیین ساختار دستگاه را نیز متوقف می‌کند. وقتی که عملکرد لامپ ضعیف می‌شود، پروفایل‌های مربوط به حرارت‌دهی تغییر کرده، ضخامت فوتورزیست نیز دچار نوسان می‌شود؛ در نتیجه قابلیت تکرارپذیری فرآیند کاهش می‌یابد. لامپ‌های لیتوگرافی ASML به گونه‌ای طراحی شده‌اند که حرارت مورد نیاز را حفظ کنند؛ بنابراین مراحل تشعشع، حرارت‌دهی اولیه و پختن فوتورزیست، در محدوده مشخصات استاندارد باقی می‌مانند.</p>