http://ir-heat-build.com/fa/tags/%D9%81%D8%B1/ Recent content in فر on Custom Infrared Heating Builds Hugo fa Thu, 18 Jun 2026 04:05:37 +0800 http://ir-heat-build.com/fa/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Thu, 18 Jun 2026 04:05:37 +0800 http://ir-heat-build.com/fa/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="هیتر مادون قرمز فر اتاق تمیز"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، یکنواختی دمای گرمایش، چیزی نیست که بتوان آن را نادیده گرفت؛ بلکه یک عامل مهم برای کنترل کیفیت تولید است. اختلاف دمای ۱ درجه سانتی‌گراد در سطح ویفر، باعث اختلال در کنترل ابعاد ویفر شده و منجر به ایجاد نقص‌هایی در فوتورزیست می‌شود. ما هیترهای ماوراء‌بنفش خود را طوری طراحی کرده‌ایم که این نوسانات را از ریشه حذف کنند.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟</strong><br> عناصر ماوراء‌بنفش کوتاه‌موج، گرما را به صورت سریع و مستقیم به ویفر منتقل می‌کنند؛ بنابراین دمای مورد نظر در عرض چند ثانیه به حد مطلوب می‌رسد. یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند، و تکرارپذیری فرآیند نیز در چارچوب محدودیت‌های حرارتی مشخصی صورت می‌گیرد. بدنه هیترها برای استفاده در اتاق‌های پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده‌اند؛ اتصالات آن‌ها نیز بسته هستند و هیچ رشته الکتریکی در معرض دید نیست، تا از ایجاد ذرات در فضای اتاق جلوگیری شود. توان خروجی هیترها در طول بیش از ۵،۰۰۰ ساعت کار، ثابت باقی می‌ماند و اختلاف دما کمتر از ۵٪ است.</p>