حفظ ایمنی هیترهای موجود در واگنهای حمل و نقل در اتاقهای پاک، و همچنین حفظ سلامت ویفرها
در اتاقهای پاک مربوط به تولید نیمههادیها، هیچ جایی برای خطا وجود ندارد. هنگام ساخت هیترهای مورد استفاده در واگنهای حمل و نقل، ما فقط به یکنواختی دما فکر نمیکنیم؛ بلکه به مسائل مربوط به نشت الکتریسیته نیز توجه میکنیم.
حتی یک ارتعاش کوچک یا آسیب به عایقبندی، میتواند باعث از بین رفتن کل مجموعه ویفرها یا خاموش شدن کل تجهیزات شود. این وضعیت برای هیچ کس خوب نیست.
چرا هر دستگاه را مورد آزمایش قرار میدهیم؟
ما از روش نمونهبرداری تصادفی استفاده نمیکنیم؛ چون این روش خیلی پرخطر است. در عوض، هر عنصر گرمایشی قبل از ورود به اتاق، مورد آزمایش استحکام الکتریکی و مقاومت عایقبندی قرار میگیرد.
در واقع، ما فشار الکتریکی بسیار بالاتری را بر عایقبندی وارد میکنیم تا مطمئن شویم که عایقبندی کارایی لازم را دارد. اگر در ساختار سرامیکی یا پوشش کوارتزی، حتی یک شکستگی ریز وجود داشته باشد، جریان الکتریکی میتواند از آن عبور کند. ما ترجیح میدهیم این مشکلات را در آزمایشگاه شناسایی کنیم، نه اینکه شما آنها را در اتاق پاک خود پیدا کنید. این تنها راه برای اطمینان از جداسازی کامل هیتر از ساختار واگن حمل و نقل است.
مزایا و معایبی که باید بدانید
ما از مواد با خلوص بالا برای جلوگیری از خروج گازها استفاده میکنیم؛ این موضوع در محیطهای پاک امری ضروری است.
اما مزیت این سطح از ایمنی و خلوص، هزینههای فیزیکی خاصی را در پی دارد. این دستگاهها کمی بزرگتر از هیترهای صنعتی معمولی هستند. برای پاس کردن آزمایشهای عایقبندی، مجبوریم از لایههای ضخیمتری استفاده کنیم؛ این امر باعث میشود عنصر گرمایشی گستردهتر شود.
حتماً قطعات مربوط به نصب هیتر را بررسی کنید؛ باید مطمئن شوید که اندازه آنها مناسب ابعاد هیتر باشد تا همه چیز به خوبی جایگیری کند.
اتصال سیمها
پس از رسیدن دستگاهها، مرحله اتصال سیمها فرا میرسد. باید در مورد اتصالات زمینی دقت کنید.
حتی با وجود آزمایشهایی که انجام میدهیم، اگر اتصالات زمینی در سطح واگن به درستی انجام نشود، تمام تلاشهای مربوط به عایقبندی بیفایده خواهد بود. ما نقشههای راهنمای واضحی ارائه میدهیم تا بتوانید هیتر را از سیستمهای الکترونیکی حمل و نقل جدا نگه دارید. این کار مانع از نفوذ امواج الکترومغناطیسی به سنسورها میشود و در نتیجه دادههای شما پاک باقی میمانند.