Secador de obleas _con calentamiento uniforme

Thu, 02 Jul 2026 08:19:18 +0800

En la planta de fabricación, una variación de 0,1°C durante el proceso de secado suave o duro es suficiente para causar desviaciones en las propiedades del disco de silicio, generar residuos y afectar negativamente el rendimiento del proceso. Los secadores convencionales luchan contra las diferencias de temperatura entre las distintas zonas del disco y contra los picos de partículas que aparecen justo después de los cambios térmicos. Hemos diseñado este secador para eliminar esa incertidumbre.

Lo importante detrás de este sistema
Logramos mantener la uniformidad térmica a nivel del disco en un rango de ±0,1°C, utilizando emisores de infrarrojos de onda corta en una cámara aislada con cuarzo, lo que permite transmitir calor sin liberar partículas. El sistema funciona en salas limpias de clase 1–100, y verificamos que no se generen partículas mediante monitoreo en tiempo real. Los perfiles de secado del fotorevestimiento son consistentes, con una estabilidad del punto de ajuste dentro de un rango de ±0,2°C. Esto permite controlar adecuadamente las dimensiones críticas del disco y su perfil lateral. La arquitectura del calentador mantiene la temperatura del sustrato independiente de las fluctuaciones ambientales, de modo que cada lote reciba el mismo tratamiento térmico.

Calor uniforme para oblea IR de 300 mm

Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800

En una línea de 300mm, el soft bake y el hard bake no son solo pasos térmicos, sino también puntos críticos para el rendimiento. Si el calentamiento por IR no es uniforme, se observarán variaciones en el ancho de línea, rebordes en los bordes y residuos que sobreviven al proceso de limpieza. No se puede compensar esto mediante inspección. Hay que corregir el perfil de temperatura desde el origen.

Lo que importa técnicamente
Construimos el calentador IR para obleas de 300mm alrededor de un infrarrojo de onda corta, con reflectores diseñados y control de zona en bucle cerrado. Esto proporciona una uniformidad a nivel de oblea dentro de ±0.1°C. Esta banda estricta protege el presupuesto térmico del fotoresistente a lo largo de toda la pila del filme. La zona caliente se mantiene bajo control de partículas para integración en salas limpias clase 1–100, y hemos verificado que no genera partículas según la metrología en línea. La repetibilidad está integrada en el diseño: los puntos de consigna reproducen el mismo perfil térmico corrida tras corrida, lote tras lote.

Uniforme on Custom Infrared Heating Builds

Secador de obleas _con calentamiento uniforme

Calor uniforme para oblea IR de 300 mm